[发明专利]多晶硅生产中尾气处理方法及系统

说明书

本公开提供一种多晶硅生产中尾气处理方法及系统，其中，所述方法包括：将待处理混合气通入第一分离装置，得到第一处理混合气及硅粉固渣；将所述硅粉固渣排放至残渣处理装置；将所述第一处理混合气通入急冷塔，得到第一氯硅烷气体及含有杂质的氯硅烷残液；收集所述第一氯硅烷气体，将其冷凝为第一液相氯硅烷后输送至所述第一分离装置；将所述氯硅烷残液通入第二分离装置，在所述第二分离装置中对所述氯硅烷残液进行固液分离，得到氯硅烷清液和硅粉浑浊液；将所述氯硅烷清液输送至急冷塔；将所述硅粉浑浊液排放至残渣处理装置。本公开实施例至少可以解决相关技术中氯硅烷的固含量过高所导致的管道及设备运行周期缩短、维修成本过高等问题。

技术领域

本公开涉及多晶硅生产技术领域，尤其涉及一种多晶硅生产中尾气处理方法，以及一种多晶硅生产中尾气处理系统。

背景技术

随着化石能源的逐渐枯竭以及环境污染问题的日益加剧，探寻一种无污染的可再生能源成为当务之急。太阳能作为最丰富的可再生能源,与其他能源相比具有清洁性、安全性、广泛性、资源的充足性和潜在的经济性等优点，充分利用太阳能，对在低碳模式下实现可持续发展具有重要的经济和战略意义。

多晶硅生产太阳能光伏电池的主要原料，随着多晶硅生产工艺的不断优化，三氯氢硅合成工艺生产成本各个厂家接近一致，多晶硅生产中用于尾气处理的检修费用的生产成本逐渐成为限制多晶硅生产成本的进一步下降的最大障碍。虽然各个厂家对合成工序进行不断研究与摸索，但降低尾气处理设备及管道入口固含量见效甚微，而在多晶硅生产中的尾气处理过程中，由于设备及管道入口固含量过高导致设备磨损，缩短管道和设备的使用周期，甚至造成安全隐患，例如，急冷塔循环泵入口固含量过高将容易导致急冷塔循环泵运行过程中容易出现异响、跳停甚至泄露、着火现象，使合成工序存在较大的安全隐患。

因此，如何延长用于多晶硅生产中尾气处理的管道和设备的使用周期，从而降低多晶硅生产成本是目前亟待解决的问题。

发明内容

本公开提供了一种多晶硅生产中尾气处理方法及系统，可以延长管道和设备使用周期，从而降低多晶硅生产成本。

根据本公开实施例的一方面，提供一种多晶硅生产中尾气处理方法，包括：

将待处理混合气通入第一分离装置，在所述第一分离装置中对所述待处理混合气进行初步喷淋洗涤，得到第一处理混合气及硅粉固渣；

将所述硅粉固渣排放至残渣处理装置；以及，

将所述第一处理混合气通入急冷塔，在所述急冷塔中喷淋洗涤所述第一处理混合气，得到第一氯硅烷气体及含有杂质的氯硅烷残液；

收集所述第一氯硅烷气体，将其冷凝为第一液相氯硅烷后输送至所述第一分离装置；以及，

将所述氯硅烷残液通入第二分离装置，在所述第二分离装置中对所述氯硅烷残液进行固液分离，得到氯硅烷清液和硅粉浑浊液；

将所述氯硅烷清液输送至急冷塔；以及，

将所述硅粉浑浊液排放至残渣处理装置。

在一种实施方式中，在所述第一分离装置中对所述待处理混合气进行初步喷淋洗涤，得到第一处理混合气及硅粉固渣，具体为：

在所述第一分离装置中对所述处理混合气进行一次喷淋洗涤，得到第二处理混合气及硅粉固渣；以及，

在所述第一分离装置中对所述第二处理混合气进行二次喷淋洗涤，得到所述第一处理混合气及硅粉固渣。

在一种实施方式中，在将所述硅粉固渣排放至残渣处理装置之前，还包括：

将所述硅粉固渣排放至中转罐，在所述中转罐中将所述硅粉固渣闪蒸出第二氯硅烷气体；以及，