[发明专利]一种电容器用金属化膜的制作方法在审
申请号: | 202010029249.0 | 申请日: | 2020-01-10 |
公开(公告)号: | CN111206218A | 公开(公告)日: | 2020-05-29 |
发明(设计)人: | 汤泽波;周涛 | 申请(专利权)人: | 安徽赛福电子有限公司 |
主分类号: | C23C14/20 | 分类号: | C23C14/20;C23C14/24;C23C14/54;H01G13/00 |
代理公司: | 合肥东信智谷知识产权代理事务所(普通合伙) 34143 | 代理人: | 李兵 |
地址: | 244000 安徽*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 电容 器用 金属化 制作方法 | ||
一种电容器用金属化膜的制作方法,所述制作方法包括:通过金属原料的融化蒸发进行金属化膜的制作;将待蒸镀的基膜由放卷系统放卷进入到真空仓内,将融化蒸发后的所述金属原料经蒸镀辊蒸镀后在所述基膜外形成金属化层;利用光密度仪监控所述金属化层的透光性,根据所述透光性调整蒸镀所述金属化层的厚度继续蒸镀;利用收卷系统对所述蒸镀后的基膜进行收卷。本发明提供的制作方法在高真空度的真空仓内制作金属化膜,蒸镀的金属蒸气要达到饱和蒸气压,利用光密度仪监控金属化膜的透光性,微调蒸发温度、送丝速度和薄膜速度,从而控制金属化层厚度,进而可实现制作出所需厚度的金属化膜。
技术领域
本发明属于电容器加工的技术领域,特别涉及一种电容器用金属化膜的制作方法。
背景技术
电容器用金属化膜是将锌、铝等金属通过物理气相方法沉积在有机电介质薄膜上形成金属化层,从而获得电容器结构中的金属极板。金属化层的结构特别是厚度,关系到制成金属化膜电容器后的工作电压、ESR、损耗、使用寿命等性能,所以金属化层厚度控制是电容器用金属化膜制作的关键点。
发明CN201410774358《电容器用金属化膜》披露了金属镀层的结构。
发明CN201611190813《薄膜电容器用金属化薄膜》披露了金属化加厚层上设有排气通道。
发明申请CN201910338337《一种电容器用金属化薄膜及其制作方法》披露了金属化层的结构,第一铝层、锌层、第一铝层、AL2O3保护层,以及这种结构的实现方法。
现有的发明以及公开资料中只涉及金属化层的结构以及实现方法,没有金属化层厚度的控制方法,因而存在一定的局限性。
发明内容
本发明针对现有技术存在的不足,提供了一种电容器用金属化膜的制作方法,具体技术方案如下:
一种电容器用金属化膜的制作方法,所述制作方法包括:
通过金属原料的融化蒸发进行金属化膜的制作;
将待蒸镀的基膜由放卷系统放卷进入到真空仓内,将融化蒸发后的所述金属原料经蒸镀辊蒸镀后在所述基膜外形成金属化层;
利用光密度仪监控所述金属化层的透光性,根据所述透光性调整蒸镀所述金属化层的厚度继续蒸镀;
利用收卷系统对所述蒸镀后的基膜进行收卷。
进一步地,所述金属原料包括铝丝和锌条,所述铝丝使用立方氮化硼蒸发舟熔化,所述锌条使用坩埚熔化。
进一步地,所述立方氮化硼蒸发舟熔化温度为1200℃-1600℃,所述坩埚温度为500℃-600℃。
进一步地,所述铝丝、所述锌条通过送丝机分别送入到所述立方氮化硼蒸发舟、所述坩埚内进行融化蒸发。
进一步地,所述铝丝送丝速度400mm/min-600mm/min,所述锌条送丝速度150mm/min-350mm/min。
进一步地,所述真空仓内的真空度为10-2pa,所述基膜包括BOPP或BOPET。
进一步地,所述蒸镀辊温度为-20±10℃,所述基膜经过所述铝丝的速度为7-8m/s,所述基膜经过所述锌条的速度为12-14m/s。
进一步地,所述调整蒸镀所述金属化层的厚度包括:调整融化蒸发温度、送丝机的送丝速度或收卷系统的收卷速度中的一种或者多种。
进一步地,还包括对基膜上不需要金属化层的区域是通过涂抹油屏蔽进行;所述涂抹油屏蔽由屏蔽管进行,所述屏蔽管与基膜的距离为5±0.2mm,且所述屏蔽管加热温度为100℃-130℃。
本发明的有益效果是:
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