[发明专利]一种晶圆涂胶设备

权利要求书

1.一种晶圆涂胶设备，其特征在于：其结构包括控制面板(1)、机箱(2)、夹持台(3)、涂抹机构(4)、固定架(5)、升降杆(6)、升降缸(7)、固定台(8)，所述机箱(2)的正面上设有控制面板(1)且顶部的后端上连接有固定架(5)，所述固定架(5)上焊接有固定台(8)，所述升降缸(7)垂直安装在固定台(8)的顶部上，所述固定台(8)的下方设有涂抹机构(4)且涂抹机构(4)通过三组的升降杆(6)与固定台(8)活动连接，所述涂抹机构(4)的正下方安装有夹持台(3)且夹持台(3)位于机箱(2)顶部的中间；

所述涂抹机构(4)由圆环架(41)、旋转盘(42)、散料器(43)、平铺器(44)组成，所述旋转盘(42)上分布有两根对称的散料器(43)与两根对称的平铺器(44)，所述旋转盘(42)上的旋转盘(42)与散料器(43)交错分布。

2.如权利要求1所述的一种晶圆涂胶设备，其特征在于：所述夹持台(3)由收集槽(31)与晶圆放置台(32)组成，所述夹持台(3)中间设有晶圆放置台(32)，所述晶圆放置台(32)四周开有收集槽(31)。

3.如权利要求1所述的一种晶圆涂胶设备，其特征在于：所述散料器(43)由加料口(a1)、胶料槽(a2)、通孔(a3)、放料辊(a4)与抚平板(a5)组成，所述散料器(43)内部开有胶料槽(a2)且胶料槽(a2)上方的顶板上开有通孔(a3)，所述通孔(a3)的上方安装有加料口(a1)，所述胶料槽(a2)的底部活动安装有放料辊(a4)，所述胶料槽(a2)底部开口处两侧都设有抚平板(a5)。

4.如权利要求3所述的一种晶圆涂胶设备，其特征在于：所述抚平板(a5)为圆弧状的结构且与抚平板(a5)两侧相贴合。

5.如权利要求4所述的一种晶圆涂胶设备，其特征在于：所述抚平板(a5)上均匀等距开有八组的盛料槽(e)，所述盛料槽(e)底部为圆弧形的结构。

6.如权利要求1所述的一种晶圆涂胶设备，其特征在于：所述平铺器(44)由旋转钮(b1)、滚轮(b2)、丝杆(b3)、升降架(b4)、旋转轴(b5)、圆套(b6)组成，所述平铺器(44)内部为中空结构且内部设有滚轮(b2)，所述滚轮(b2)两侧上的框架上都安装有两根的丝杆(b3)，所述滚轮(b2)上的旋转轴(b5)与升降架(b4)上的圆套(b6)相配合，所述滚轮(b2)通过升降架(b4)与两侧的丝杆(b3)螺纹连接，所述丝杆(b3)贯穿平铺器(44)的顶部且与旋转钮(b1)相连接。

7.如权利要求1所述的一种晶圆涂胶设备，其特征在于：所述旋转盘(42)由旋转环(c1)、齿轮(c2)与电机(c3)组成，所述电机(c3)与齿轮(c2)相连接，所述齿轮(c2)与旋转环(c1)内侧上的齿相啮合。

8.如权利要求7所述的一种晶圆涂胶设备，其特征在于：所述旋转环(c1)与散料器(43)、平铺器(44)相连接。