[发明专利]半成品的缺陷检测设备在审
申请号: | 202010036892.6 | 申请日: | 2020-01-14 |
公开(公告)号: | CN113189107A | 公开(公告)日: | 2021-07-30 |
发明(设计)人: | 郭温良;柯冠宇;张艳鹏 | 申请(专利权)人: | 纮华电子科技(上海)有限公司 |
主分类号: | G01N21/88 | 分类号: | G01N21/88;G01N21/01;G01N21/15 |
代理公司: | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人: | 任芸芸;郑特强 |
地址: | 201801 上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 半成品 缺陷 检测 设备 | ||
1.一种半成品的缺陷检测设备,其特征在于,所述半成品的缺陷检测设备用来检测多个相机模块,并且每个所述相机模块包含有一基板、安装于所述基板的一传感器及连接所述基板与所述传感器的多条金属线,所述半成品的缺陷检测设备包括:
一机架,其内部形成有一检测腔室;
一平面移载机构,安装于所述机架,并且所述平面移载机构的一移动范围定义有一待测区及一防尘区;其中,所述平面移载机构用来定位多个所述相机模块,并使多个所述相机模块在所述待测区及所述防尘区移动;
一光学检测机构,安装于所述机架并位于所述检测腔室内,并且所述光学检测机构位于所述待测区的上方;其中,所述光学检测机构用来对多个所述相机模块依序地拍摄,以取得一检测图像;以及
一遮尘件,安装于所述机架,并且所述遮尘件覆盖所述防尘区,用以使通过所述光学检测机构检测的至少一个所述相机模块的被拍摄区域能够符合所述检测图像。
2.依据权利要求1所述的半成品的缺陷检测设备,其特征在于,所述待测区包含有位于所述光学检测机构正下方的一检测区域,并且所述检测区域邻近所述遮尘件;其中,所述平面移载机构能用以将在所述检测区域通过所述光学检测机构检测的至少一个所述相机模块,直接移动进入所述防尘区。
3.依据权利要求1所述的半成品的缺陷检测设备,其特征在于,所述半成品的缺陷检测设备进一步包含有安装于所述机架的一风机过滤机组,并且所述风机过滤机组用来朝向所述平面移载机构吹风,而所述遮尘件能用来遮挡所述风机过滤机组所吹出来的风。
4.依据权利要求1所述的半成品的缺陷检测设备,其特征在于,所述机架进一步包含有一高度对焦机构,并且所述光学检测机构安装于所述高度对焦机构;所述高度对焦机构能沿一高度方向移动所述光学检测机构,以使所述光学检测机构依序地对焦于多个所述相机模块、并进行拍摄。
5.依据权利要求4所述的半成品的缺陷检测设备,其特征在于,所述高度对焦机构包含有:
一高度传感器,与所述光学检测机构的相对位置保持固定,用以取得所述光学检测机构及位于其正下方的所述相机模块之间的一距离;及
一微调机构,能依据所述距离而沿所述高度方向移动所述光学检测机构,以使所述光学检测机构对焦于位于其正下方的所述相机模块的所述传感器。
6.依据权利要求5所述的半成品的缺陷检测设备,其特征在于,所述微调机构沿所述高度方向移动所述光学检测机构的每单位移动距离介于1微米~30微米。
7.依据权利要求1所述的半成品的缺陷检测设备,其特征在于,所述平面移载机构包含有:
一承载台,用以供多个所述相机模块设置,以使每个所述相机模块的所述传感器多条所述金属线面向远离所述承载台的一侧;及
一平面移动组件,连接于所述承载台,并且所述平面移动组件能驱使所述承载台沿着相互垂直的一第一方向与一第二方向移动。
8.依据权利要求7所述的半成品的缺陷检测设备,其特征在于,所述承载台形成有多个穿孔,所述平面移载机构包含有连接于多个所述穿孔的一吸附组件,并且所述吸附组件用来通过多个所述穿孔来使多个所述相机模块吸附定位于所述承载台。
9.依据权利要求1所述的半成品的缺陷检测设备,其特征在于,所述半成品的缺陷检测设备是用来检测尚未安装有任何透镜的任一个所述相机模块,并且所述半成品的缺陷检测设备不用来清除其所检测的任一个所述相机模块上的缺陷。
10.依据权利要求1所述的半成品的缺陷检测设备,其特征在于,所述半成品的缺陷检测设备包含有安装于所述机架的一电控模块,并且所述电控模块电性耦接于所述平面移载机构以及所述光学检测机构。
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