[发明专利]半成品的缺陷检测设备

说明书

本发明公开一种半成品的缺陷检测设备，包含机架以及安装于机架的平面移载机构、光学检测机构与遮尘件。所述平面移载机构的移动范围定义有待测区及防尘区、并能用来定位多个相机模块，以使其在待测区及防尘区移动。所述光学检测机构位于待测区的上方、并用来对多个相机模块依序地拍摄，以取得检测图像。所述遮尘件覆盖防尘区，用以使通过光学检测机构检测的至少一个所述相机模块的被拍摄区域能够符合所述检测图像。据此，所述半成品的缺陷检测设备能有效地提升所述相机模块的检测精准度。

技术领域

本发明涉及一种检测设备，尤其涉及一种半成品的缺陷检测设备。

背景技术

现有的缺陷检测设备大都仅着重于如何在检测待测物(device under test，DUT)的当下，实现精准的检测效果。然而现有缺陷检测设备并未考虑到所述待测物在检测完成之后，是否可能被外部环境所污染，因而导致所述待测物的检测结果与现行状态不一致。

于是，本发明人认为上述缺陷可改善，乃特潜心研究并配合科学原理的运用，终于提出一种设计合理且有效改善上述缺陷的本发明。

发明内容

本发明实施例在于提供一种半成品的缺陷检测设备，其能有效地改善现有缺陷检测设备所可能产生的缺陷。

本发明实施例公开一种半成品的缺陷检测设备，其用来检测多个相机模块，并且每个相机模块包含有一基板、安装于基板的一传感器及连接基板与传感器的多条金属线，半成品的缺陷检测设备包括一机架、一平面移载机构、一光学检测机构以及一遮尘件。机架内部形成有一检测腔室；一平面移载机构安装于机架，并且平面移载机构的一移动范围定义有一待测区及一防尘区；其中，平面移载机构用来定位多个相机模块，并使多个相机模块在待测区及防尘区移动；一光学检测机构安装于机架并位于检测腔室内，并且光学检测机构位于待测区的上方；其中，光学检测机构用来对多个相机模块依序地拍摄，以取得一检测图像；一遮尘件安装于机架，并且遮尘件覆盖防尘区，用以使通过光学检测机构检测的至少一个相机模块的被拍摄区域能够符合检测图像。

优选地，待测区包含有位于光学检测机构正下方的一检测区域，并且检测区域邻近遮尘件；其中，平面移载机构能用以将在检测区域通过光学检测机构检测的至少一个相机模块，直接移动进入防尘区。

优选地，半成品的缺陷检测设备进一步包含有安装于机架的一风机过滤机组，并且风机过滤机组用来朝向平面移载机构吹风，而遮尘件能用来遮挡风机过滤机组所吹出来的风。

优选地，机架进一步包含有一高度对焦机构，并且光学检测机构安装于高度对焦机构；高度对焦机构能沿一高度方向移动光学检测机构，以使光学检测机构依序地对焦于多个相机模块、并进行拍摄。

优选地，高度对焦机构包含有一高度传感器及一微调机构。高度传感器与光学检测机构的相对位置保持固定，用以取得光学检测机构及位于其正下方的相机模块之间的一距离；一微调机构能依据距离而沿高度方向移动光学检测机构，以使光学检测机构对焦于位于其正下方的相机模块的传感器。

优选地，微调机构沿高度方向移动光学检测机构的每单位移动距离介于1微米(μm)～30微米。

优选地，平面移载机构包含有一承载台及一平面移动组件。承载台用以供多个相机模块设置，以使每个相机模块的传感器多条金属线面向远离承载台的一侧；一平面移动组件连接于承载台，并且平面移动组件能驱使承载台沿着相互垂直的一第一方向与一第二方向移动。

优选地，承载台形成有多个穿孔，平面移载机构包含有连接于多个穿孔的一吸附组件，并且吸附组件用来通过多个穿孔来使多个相机模块吸附定位于承载台。

优选地，半成品的缺陷检测设备是用来检测尚未安装有任何透镜的任一个相机模块，并且半成品的缺陷检测设备不用来清除其所检测的任一个相机模块上的缺陷。

优选地，半成品的缺陷检测设备包含有安装于机架的一电控模块，并且电控模块电性耦接于平面移载机构以及光学检测机构。