[发明专利]用于制造显示设备的设备在审
申请号: | 202010041297.1 | 申请日: | 2020-01-15 |
公开(公告)号: | CN111575651A | 公开(公告)日: | 2020-08-25 |
发明(设计)人: | 张熙宣;尹相皓;林在夏;成箕运 | 申请(专利权)人: | 三星显示有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24;C23C14/04;C23C14/20;C23C14/12;C23C14/08;C23C14/58;H01L51/56 |
代理公司: | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人: | 刘美华;刘灿强 |
地址: | 韩国京畿*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 制造 显示 设备 | ||
1.一种用于制造显示设备的设备,所述设备包括:
腔室,被构造为具有位于所述腔室中的显示基底和掩模组件;
沉积源储存器,连接到所述腔室,所述沉积源储存器具有开口部分并且与所述腔室连通;
遮蔽器,位于所述沉积源储存器的所述开口部分处,并且被构造为选择性地遮蔽所述沉积源储存器的所述开口部分;
沉积源,位于所述沉积源储存器中以面对所述显示基底;以及
分离驱动器,连接到所述沉积源储存器,并且被构造为将所述沉积源储存器的一部分与所述沉积源储存器分离。
2.根据权利要求1所述的设备,所述设备还包括压力调节器,所述压力调节器连接到所述腔室和/或所述沉积源储存器,并且被构造为调节所述腔室和/或所述沉积源储存器中的压力。
3.根据权利要求1所述的设备,其中,所述遮蔽器包括:
遮蔽板,为线性地可移动,并且被构造为选择性地遮蔽所述沉积源储存器的所述开口部分;以及
线性驱动器,连接到所述遮蔽板并且被构造为使所述遮蔽板线性地移动。
4.根据权利要求3所述的设备,其中,所述遮蔽器还包括位于所述沉积源储存器和/或所述遮蔽板上的电磁部分。
5.根据权利要求1所述的设备,其中,所述遮蔽器包括:
遮蔽板,被构造为选择性地遮蔽所述沉积源储存器的所述开口部分;以及
旋转驱动器,连接到所述遮蔽板,并被构造为使所述遮蔽板旋转。
6.根据权利要求5所述的设备,其中,所述遮蔽器还包括位于所述沉积源储存器和/或所述遮蔽板上的电磁部分。
7.根据权利要求5所述的设备,其中,所述遮蔽板包括:
第一遮蔽板,连接到所述旋转驱动器;以及
第二遮蔽板,面对所述第一遮蔽板,并连接到所述旋转驱动器。
8.根据权利要求1所述的设备,其中,所述沉积源储存器包括:
分隔壁,连接到所述腔室或位于所述腔室中以具有其中容纳所述沉积源的空间;以及
分离器,被构造为选择性地结合到所述分隔壁或所述腔室。
9.根据权利要求8所述的设备,其中,所述分离驱动器连接到所述分离器并被构造为使所述分离器移动。
10.根据权利要求8所述的设备,其中,所述沉积源储存器还包括位于所述分隔壁上的加热单元。
11.根据权利要求8所述的设备,其中,所述沉积源储存器还包括位于所述分隔壁上的冷却器。
12.根据权利要求8所述的设备,其中,所述沉积源储存器还包括隔离器,所述隔离器位于所述分隔壁上并被构造为遮蔽其中所述遮蔽器滑动的空间。
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