[发明专利]用于制造显示设备的设备

说明书

提供了一种用于制造显示设备的设备，所述设备包括：腔室，被构造为具有位于腔室中的显示基底和掩模组件；沉积源储存器，连接到腔室，沉积源储存器具有开口部分并与腔室连通；遮蔽器，位于沉积源储存器的开口部分处，并且被构造为选择性地遮蔽沉积源储存器的开口部分；沉积源，位于沉积源储存器中以面对显示基底；以及分离驱动器，连接到沉积源储存器，并且被构造为将沉积源储存器的一部分与沉积源储存器分离。

本申请要求于2019年2月19日在韩国知识产权局提交的第10-2019-0019186号韩国专利申请的优先权和权益，所述韩国专利申请的公开内容通过引用全部包含于此。

技术领域

一些示例实施例的方面涉及一种设备，例如，涉及一种制造显示设备的设备。

背景技术

移动电子设备已被广泛使用。平板个人计算机(PC)以及诸如移动电话的小型电子设备近来已被广泛用作移动电子设备。

移动电子设备包括用于向用户提供诸如图像的视觉信息以支持各种功能的显示设备。近来，由于用于驱动显示装置的其它组件已经被小型化，移动电子设备中的显示设备的百分比已经逐渐增加，并且已经开发出从平面状态可弯曲预定角度的结构。

在该背景技术部分中公开的以上信息仅用于增强对背景技术的理解，因此，其可以包含不构成现有技术的信息。

发明内容

一般地，当制造显示设备时，可以在显示基底上沉积沉积材料。在这种情况下，因为用于供应沉积材料的沉积源位于腔室中，所以当替换沉积源时，设备自身会停止以使腔室中的压力为大气压，从而减少了设备操作时间，并且导致花费大量时间和成本以使腔室内的压力再次适合于沉积工艺。

一些示例实施例可以包括一种制造显示设备的设备和方法，其中，可以在腔室中的压力保持恒定的状态下更换沉积源。

这些示例实施例可以通过使用系统、方法、计算机程序或其组合来实现。

另外的方面将在下面的描述中部分地阐述，并且将部分地通过描述而清楚，或者可以通过所呈现的实施例的实践而获知。

根据一些示例实施例，一种用于制造显示设备的设备，所述设备包括：腔室，其中定位有显示基底和掩模组件；沉积源储存器，连接到腔室，具有开口部分，并且与腔室连通；遮蔽器，位于沉积源储存器的开口部分处，并且被构造为选择性地遮蔽沉积源储存器的开口部分；沉积源，位于沉积源储存器中以面对显示基底；以及分离驱动器，连接到沉积源储存器，并且被构造为将沉积源储存器的一部分与沉积源储存器分离。

根据一些示例实施例，设备还可以包括压力调节器，压力调节器连接到腔室和/或沉积源储存器，并且被构造为调节腔室和/或沉积源储存器中的压力。

根据一些示例实施例，遮蔽器可以包括：遮蔽板，为线性地可移动，并且被构造为选择性地遮蔽沉积源储存器的开口部分；以及线性驱动器，连接到遮蔽板并且被构造为使遮蔽板线性地移动。

根据一些示例实施例，遮蔽器还可以包括位于沉积源储存器和/或遮蔽板上的电磁部分。

根据一些示例实施例，遮蔽器可以包括：遮蔽板，被构造为选择性地遮蔽沉积源储存器的开口部分；以及旋转驱动器，连接到遮蔽板并被构造为使遮蔽板旋转。

根据一些示例实施例，遮蔽器还可以包括位于沉积源储存器和/或遮蔽板上的电磁部分。

根据一些示例实施例，遮蔽板可以包括：第一遮蔽板，连接到旋转驱动器；以及第二遮蔽板，面对第一遮蔽板并连接到旋转驱动器。

根据一些示例实施例，沉积源储存器可以包括：分隔壁，连接到腔室或位于腔室中以具有其中容纳沉积源的空间；以及分离器，被构造为选择性地结合到分隔壁或腔室。

根据一些示例实施例，分离驱动器连接到分离器并被构造为使分离器移动。