[发明专利]一种用于硅片加工生产线的翻片装置在审
申请号: | 202010043657.1 | 申请日: | 2020-01-15 |
公开(公告)号: | CN111244003A | 公开(公告)日: | 2020-06-05 |
发明(设计)人: | 张利红 | 申请(专利权)人: | 张利红 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L31/18 |
代理公司: | 北京艾皮专利代理有限公司 11777 | 代理人: | 郭童瑜 |
地址: | 741031 甘肃*** | 国省代码: | 甘肃;62 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 硅片 加工 生产线 装置 | ||
1.一种用于硅片加工生产线的翻片装置,包括框架(1),其特征在于,所述框架(1)的相对一侧内壁通过轴承连接有翻料辊(13),且翻料辊(13)的侧面外壁开有四个环形均匀分布的压槽(19),且压槽(19)的侧面内壁均滑动连接有翻料架(4),翻料架(4)为C字型结构,翻料架(4)的侧面外壁开有架槽(3),所述压槽(19)的一侧内壁设置有至少两个均匀分布的弹簧(18),且弹簧(18)的一端设置于翻料架(4)的一侧外壁,所述压槽(19)的一侧内壁通过卡钉连接有两个导电片(20),且翻料架(4)的一侧外壁设置有导电条(21),所述框架(1)的一侧外壁设置有侧壳(22),且侧壳(22)的一侧外壁设置有翻料电机(5),翻料电机(5)与导电片(20)并联连接,所述翻料辊(13)靠近弹簧(18)一侧的外部设置有进料机构,且翻料辊(13)的另一侧设置有出料机构。
2.根据权利要求1所述的一种用于硅片加工生产线的翻片装置,其特征在于,所述框架(1)的相对一侧外壁底部两端均设置有安装板(15),且安装板(15)的顶部外壁均开有安装孔。
3.根据权利要求1所述的一种用于硅片加工生产线的翻片装置,其特征在于,所述进料机构包括与翻料架(4)相适配的设置于框架(1)侧面内壁的进料架(2),且出料机构包括与翻料架(4)相适配的设置于框架(1)侧面内壁的出料架(6)。
4.根据权利要求1所述的一种用于硅片加工生产线的翻片装置,其特征在于,所述翻料辊(13)位于侧壳(22)内部的侧面外壁设置有转盘(31),且转盘(31)的侧面外壁开有与四个环形均匀分布的通孔(27),侧壳(22)的侧面内壁设置有与通孔(27)相对应的光电门传感器(26)。
5.根据权利要求3所述的一种用于硅片加工生产线的翻片装置,其特征在于,所述框架(1)位于进料架(2)一侧的侧面内壁通过轴承连接有两个平行分布的进料辊(23),且进料辊(23)的侧面外壁套接有同一个进料皮带(17)。
6.根据权利要求5所述的一种用于硅片加工生产线的翻片装置,其特征在于,所述框架(1)位于出料架(6)一侧的侧面内壁通过轴承连接有两个平行分布的出料辊(24),且出料辊(24)的侧面外壁套接有同一个出料皮带(12)。
7.根据权利要求6所述的一种用于硅片加工生产线的翻片装置,其特征在于,所述框架(1)的一侧外壁设置有传动壳(14),且传动壳(14)的一侧外壁设置有传动电机(16),传动电机(16)的输出轴通过齿轮带与出料辊(24)和进料辊(23)形成传动配合。
8.根据权利要求6所述的一种用于硅片加工生产线的翻片装置,其特征在于,所述框架(1)位于出料皮带(12)上方的顶部外壁设置有顶板(7),且顶板(7)的顶部外壁开有滑槽(9),滑槽(9)的侧面内壁滑动连接有两个校正板(25),校正板(25)的顶部外壁均通过螺纹连接有调节钮(8)。
9.根据权利要求4所述的一种用于硅片加工生产线的翻片装置,其特征在于,所述侧壳(22)的一侧外壁设置有制动壳(29),且制动壳(29)的侧面内壁通过轴承连接有双向螺杆(33),制动壳(29)的一侧外壁设置有与双向螺杆(33)形成传动的制动电机(30),双向螺杆(33)的侧面外壁通过螺纹连接有两个制动块(28),制动块(28)分别位于转盘(31)的两侧,制动块(28)的相对一侧外壁均粘接有制动片(32)。
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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