[发明专利]一种用于硅片加工生产线的翻片装置在审
申请号: | 202010043657.1 | 申请日: | 2020-01-15 |
公开(公告)号: | CN111244003A | 公开(公告)日: | 2020-06-05 |
发明(设计)人: | 张利红 | 申请(专利权)人: | 张利红 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L31/18 |
代理公司: | 北京艾皮专利代理有限公司 11777 | 代理人: | 郭童瑜 |
地址: | 741031 甘肃*** | 国省代码: | 甘肃;62 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 硅片 加工 生产线 装置 | ||
本发明属于硅片加工技术领域,尤其是一种用于硅片加工生产线的翻片装置,针对安全性较差的问题,现提出以下方案,包括框架,所述框架的相对一侧内壁通过轴承连接有翻料辊,且翻料辊的侧面外壁开有四个环形均匀分布的压槽,且压槽的侧面内壁均滑动连接有翻料架,翻料架为C字型结构,翻料架的侧面外壁开有架槽,所述压槽的一侧内壁设置有至少两个均匀分布的弹簧,且弹簧的一端设置于翻料架的一侧外壁。本发明防止翻料电机继续转动而导致硅片受力而损坏,当导电片与导电条连接时,制动电机通电工作,继而使得制动块上的制动片压在转盘上,继而使得转盘停止转动,继而使得翻料架停止转动,进一步提高了安全性。
技术领域
本发明涉及硅片加工技术领域,尤其涉及一种用于硅片加工生产线的翻片装置。
背景技术
太阳电池片是由单晶或多晶硅片经清洗、制绒、扩散、边缘刻蚀、镀 减反膜、印刷电极和烧结等多道工序加工制成,硅片在加工生产过程中通过需要进行翻面以进行不同工序加工。
经检索,中国专利授权号为CN205381695U的专利,公开了一种硅片翻片装置,包括底座和设置在底座上的输送带,所述输送带上设置翻片旋转轮。上述专利中的一种硅片翻片装置存在以下不足:该硅片翻片装置在使用时,当驱动电机故障或程序错误时而导致在翻片时翻片旋转轮在转动到输送带一侧未能及时停止,翻片旋转轮的转动会挤压硅片继而容易导致硅片损坏,甚至装置损坏,继而造成更大的损失。
发明内容
基于硅片翻片装置安全性较差的技术问题,本发明提出了一种用于硅片加工生产线的翻片装置。
本发明提出的一种用于硅片加工生产线的翻片装置,包括框架,所述框架的相对一侧内壁通过轴承连接有翻料辊,且翻料辊的侧面外壁开有四个环形均匀分布的压槽,且压槽的侧面内壁均滑动连接有翻料架,翻料架为C字型结构,翻料架的侧面外壁开有架槽,所述压槽的一侧内壁设置有至少两个均匀分布的弹簧,且弹簧的一端设置于翻料架的一侧外壁,所述压槽的一侧内壁通过卡钉连接有两个导电片,且翻料架的一侧外壁设置有导电条,所述框架的一侧外壁设置有侧壳,且侧壳的一侧外壁设置有翻料电机,翻料电机与导电片并联连接,所述翻料辊靠近弹簧一侧的外部设置有进料机构,且翻料辊的另一侧设置有出料机构。
优选地,所述框架的相对一侧外壁底部两端均设置有安装板,且安装板的顶部外壁均开有安装孔。
优选地,所述进料机构包括与翻料架相适配的设置于框架侧面内壁的进料架,且出料机构包括与翻料架相适配的设置于框架侧面内壁的出料架。
优选地,所述翻料辊位于侧壳内部的侧面外壁设置有转盘,且转盘的侧面外壁开有与四个环形均匀分布的通孔,侧壳的侧面内壁设置有与通孔相对应的光电门传感器。
优选地,所述框架位于进料架一侧的侧面内壁通过轴承连接有两个平行分布的进料辊,且进料辊的侧面外壁套接有同一个进料皮带。
优选地,所述框架位于出料架一侧的侧面内壁通过轴承连接有两个平行分布的出料辊,且出料辊的侧面外壁套接有同一个出料皮带。
优选地,所述框架的一侧外壁设置有传动壳,且传动壳的一侧外壁设置有传动电机,传动电机的输出轴通过齿轮带与出料辊和进料辊形成传动配合。
优选地,所述框架位于出料皮带上方的顶部外壁设置有顶板,且顶板的顶部外壁开有滑槽,滑槽的侧面内壁滑动连接有两个校正板,校正板的顶部外壁均通过螺纹连接有调节钮。
优选地,所述侧壳的一侧外壁设置有制动壳,且制动壳的侧面内壁通过轴承连接有双向螺杆,制动壳的一侧外壁设置有与双向螺杆形成传动的制动电机,双向螺杆的侧面外壁通过螺纹连接有两个制动块,制动块分别位于转盘的两侧,制动块的相对一侧外壁均粘接有制动片。
本发明中的有益效果为:
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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