[发明专利]一种PET镀膜方法、镀膜PET有效
| 申请号： | 202010045208.0 | 申请日： | 2020-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN111172500B | 公开（公告）日： | 2022-04-01 |
| 发明（设计）人： | 陆张武;徐勇军;李恭剑;王迎;徐征驰 | 申请（专利权）人： | 浙江晶驰光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/20 | 分类号： | C23C14/20;C23C14/08;C23C14/18;C23C14/10;C23C14/16;C23C14/34;C23C14/58 |
| 代理公司： | 浙江千克知识产权代理有限公司 33246 | 代理人： | 张海兵 |
| 地址： | 318001 浙江省台州市椒江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 pet 镀膜 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种PET镀膜方法，其特征在于，包括:
步骤S01,在PET基板表面溅镀Ti；
步骤S02，在溅镀Ti层的PET基板上依次溅镀Al2O3、TiO2、Al2O3、SiO2。
2.根据权利要求1所述的一种PET镀膜方法，其特征在于，步骤S01具体包括：真空溅射镀膜机对腔体抽真空；在PET基板表面溅镀Ti。
3.根据权利要求2所述的一种PET镀膜方法，其特征在于，步骤S01溅镀Ti层的厚度为20-200nm。
4.根据权利要求1所述的一种PET镀膜方法，其特征在于，所述步骤S02中镀膜温度不超过200℃。
5.根据权利要求1所述的一种PET镀膜方法，其特征在于，镀膜的膜厚不超过300nm。
6.根据权利要求1所述的一种PET镀膜方法，其特征在于，镀膜后的PET基板具有400-700nm波段的吸光特性。
7.一种镀膜PET，其特征在于，采用上述权利要求1的PET镀膜方法制备；所述PET包括PET基板、膜层、Ti层；所述Ti层设于PET基板和膜层之间；所述膜层由Al2O3、TiO2、Al2O3、SiO2构成。
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