[发明专利]研磨装置

权利要求书

1.一种研磨装置(10)，其通过可伸缩的研磨体(70)来对被研磨物(22)进行研磨，所述研磨装置(10)的特征在于，

具有多个形状追随部(90)、支承体(60)和连杆部(140)，其中，

所述形状追随部(90)与所述被研磨物相向而将所述研磨体夹于其间，并且具有能够发生位移的轴部(92)；

所述支承体(60)支承所述形状追随部；

所述连杆部(140)连结所述轴部彼此，

所述连杆部包括连杆部件(142a～142d)，该连杆部件(142a～142d)至少连结相邻的两根所述轴部彼此，

在经由所述连杆部件连结的所述两根轴部中的一根从所述被研磨物受到反作用力而后退时，另一根前进，

所述连杆部还包括将所述连杆部件彼此连结的另外的连杆部件(146a、146b)。

2.根据权利要求1所述的研磨装置，其特征在于，

在所述连杆部设置有将所述轴部定位固定的锁定机构。

3.根据权利要求1所述的研磨装置，其特征在于，

在所述形状追随部的面向所述研磨体的顶端设置有可摆动的摆动部(94)。

4.根据权利要求1所述的研磨装置，其特征在于，

所述形状追随部的面向所述研磨体的顶端能够旋转。

5.根据权利要求1所述的研磨装置，其特征在于，

多个所述形状追随部呈交错点阵状配设。

6.根据权利要求1所述的研磨装置，其特征在于，

具有使所述支承体偏心旋转的偏心旋转部(52)。

7.根据权利要求1所述的研磨装置，其特征在于，

具有保持所述支承体的机器人(12)。

8.根据权利要求1所述的研磨装置，其特征在于，

所述研磨体为能够进行环绕转动的环形带，并且所述研磨装置具有对所述环形带施加环绕转动的驱动力的驱动力施加机构(72)。