[发明专利]研磨装置

说明书

本发明涉及一种研磨装置。研磨装置(10)具有形状追随部(90a～90h)，该形状追随部(90a～90h)与工件(22)相向而将研磨体夹持于其间，并且具有可发生位移的轴部(92)。至少相邻的两根轴部(92)彼此经由连杆部件(142a～142d)而连结。例如，在经由连杆部件(142a)连结的形状追随部(90a、90b)的各轴部(92)中，当一根轴部(92)从工件受到反作用力而后退时，另一根轴部(92)前进。根据本发明，即使在被研磨区域形成为复杂的形状的情况下，也能够进行自动且良好的研磨。

技术领域

本发明涉及一种研磨装置，其通过研磨体来研磨被研磨物。

背景技术

研磨被研磨物的研磨体如日本发明专利公开公报特开2004-009189号所例示的那样，通常构成为形成为圆板形状的旋转体。但是，在该情况下，虽然能够研磨平坦面，但难以对存在起伏的凹凸面进行均一地研磨。

因此，可以想到在研磨体上设置弹性体(缓冲件：cushion)，例如海绵(sponge)。在该情况下，当研磨被研磨物的凸部时，弹性体被压溃，另一方面，当研磨凹部时被压溃的弹性体将会恢复到原来的形状。这是因为，由于通过弹性体而使研磨体表现出形状追随性，因此可以认为能够比较容易地研磨凹凸面。

发明内容

实际上，弹性体的形状追随性并不那么好。因此，例如在想要研磨形成为凸部和凹部交替相连的复杂的形状的被研磨区域的、所述凸部的情况下，有可能弹性体不能被充分地压溃。当发生这种情况时，对凸部的研磨量变得比设计值多。

为了避免这种情况，在被研磨区域形成为复杂的形状的情况下，大多由作业人员通过手工作业进行研磨。但是，在该情况下，研磨烦杂并且对作业人员造成负担。

本发明的主要目的在于提供一种研磨装置，该研磨装置即使在被研磨区域形成为复杂的形状的情况下，也能够进行自动且良好的研磨。

根据本发明的一技术方案，提供一种研磨装置，该研磨装置通过可伸缩的研磨体来研磨被研磨物，所述研磨装置具有多个形状追随部、支承体和连杆部，其中，

所述形状追随部与所述被研磨物相向而将所述研磨体夹于其间，并且具有能够发生位移的轴部；

所述支承体支承所述形状追随部；

所述连杆部连结所述轴部彼此；

所述连杆部包括至少连结相邻的两根所述轴部彼此的连杆部件，

在经由所述连杆部件连结的所述两根轴部中的一根从所述被研磨物受到反作用力(reaction)而后退时，另一根前进。

在本发明中，在研磨体与被研磨物滑动接触(进行研磨)时，构成隔着该研磨体而与被研磨物相向的形状追随部的轴部发生位移。即，当轴部从被研磨物受到反作用力时，其向远离该被研磨物的方向后退。在此，相邻的轴部彼此经由连杆部件连结。因此，与后退的轴部相邻的轴部向接近被研磨物的方向前进。相邻的轴部如上述那样发生位移的结果为，避免了研磨体从轴部受到过度的推压。因此，研磨体能够与被研磨物的形状对应而变形。

即，根据本发明，由于能够使形状追随部的轴部追随被研磨物的形状来发生位移，因此研磨体与被研磨物的形状对应而变形。

因此，研磨体一边对被研磨区域施加适当且大致均等的表面压力，一边与该被研磨区域滑动接触。据此，能够实施自动且良好的研磨。

上述目的、特征和优点通过参照附图所说明的以下实施方式的说明能够容易地理解。

附图说明

图1是本发明的实施方式所涉及的研磨装置的概略整体侧视图。

图2是构成所述研磨装置的研磨机构的概略侧视图。

图3是所述研磨机构的概略主视图。