[发明专利]一种碳化硅纤维表面连续制备复合界面层的设备及方法

权利要求书

1.一种碳化硅纤维表面连续制备复合界面层的设备，该设备包括第一沉积室、至少一个过渡沉积室，在任意两个相邻的沉积室之间设置有隔离室，所述隔离室通入有惰性气体，且所述隔离室内惰性气体的气压高于相邻的两个沉积室的室内气压，使得相邻的两个沉积室中的气体在气压差的作用下相互隔离，不会流入隔离室；每个沉积室中设置有滚轮组，用于纤维束导向。

2.一种碳化硅纤维表面连续制备复合界面层的设备，该设备包括第一沉积室、至少一个过渡沉积室和热处理室，所述第一沉积室、至少一个过渡沉积室和热处理室依次设置，在任意两个相邻的沉积室之间设置有隔离室，过渡沉积室与热处理室之间设置有隔离室，所述隔离室通入有惰性气体，且所述隔离室内惰性气体的气压高于相邻的两个室的室内气压，使得相邻的两个室中的气体在气压差的作用下相互隔离，不会流入隔离室；每个沉积室中设置有滚轮组，用于纤维束导向；

所述热处理室内设置有收料装置，收料装置用于拉动纤维束并将纤维束收卷。

3.根据权利要求1或2所述的一种碳化硅纤维表面连续制备复合界面层的设备，其特征在于：第一沉积室中设置有放料装置和纤维料卷，所述纤维料卷安装在放料装置上。

4.根据权利要求1或2所述的一种碳化硅纤维表面连续制备复合界面层的设备，其特征在于：末尾的过渡沉积室内设置有收料装置，收料装置用于拉动纤维束并将纤维束收卷。

5.根据权利要求1或2所述的一种碳化硅纤维表面连续制备复合界面层的设备，其特征在于：所述惰性气体为氩气(Ar)。

6.根据权利要求1或2所述的一种碳化硅纤维表面连续制备复合界面层的设备，其特征在于：所述隔离室内的气压比相邻的沉积室气压高300Pa～1kPa。

7.根据权利要求1或2所述的一种碳化硅纤维表面连续制备复合界面层的设备，其特征在于：至少一个沉积室内设置有转向滚轮，沉积室内的束丝经过转向滚轮转向后从沉积室入口导出。设置转向滚轮使得沉积室的长度减半，节省了空间和能耗。

8.根据权利要求1或2所述的一种碳化硅纤维表面连续制备复合界面层的设备，其特征在于：所述第一沉积室包括转向滚轮，所述束丝SiC纤维进入第一沉积室后通过转向滚轮转向；所述过渡沉积室包括转向滚轮，所述束丝SiC纤维进入过渡沉积室后通过转向滚轮转向。

9.提供了一种连续制备复合界面层的方法，使用如权利要求1-8之一所述的连续制备复合界面层的设备，所述方法包括以下步骤：

步骤1、将束丝SiC纤维预缠绕在滚筒上，束丝SiC纤维进入第一沉积室，在第一沉积室沉积形成第一界面层；

步骤2、使得束丝SiC纤维至少进入一个过渡沉积室，在过渡沉积室沉积形成至少一个界面层。

10.根据权利要求9所述的一种连续制备复合界面层的方法，其特征在于：所述束丝SiC纤维进入热处理室，通过热处理使得界面层的结晶度提高。优选地，所有沉积室的加热温度不高于1000℃，且所述热处理室的热处理温度在1000℃以上。