[发明专利]静电卡盘

权利要求书

1.一种静电卡盘，包括：

基材；及

静电卡盘板，固定于所述基材上，并且包括被施加用于卡紧和解除卡紧的偏压的多个电极，

所述多个电极具有从所述静电卡盘板的边缘的起点向中心侧的终点延长的螺旋形图案，所述螺旋形图案的旋转角是360°*n，n是1以上且2以下的实数。

2.根据权利要求1所述的静电卡盘，其中，

所述多个电极旋转对称。

3.根据权利要求1所述的静电卡盘，其中，

所述多个电极包括第一极性的多个第一电极和第二极性的多个第二电极，

所述第一电极和所述第二电极径向交替。

4.根据权利要求3所述的静电卡盘，其中，

所述多个第一电极和所述多个第二电极的总数是偶数。

5.根据权利要求3所述的静电卡盘，其中，

所述多个第一电极和所述多个第二电极的各个面积相同。

6.根据权利要求1所述的静电卡盘，其中，

所述多个第一电极和所述多个第二电极分别在所述静电卡盘板的起点和所述终点之间具有1个以上的弯曲部。

7.根据权利要求1所述的静电卡盘，其中，

所述多个第一电极和所述多个第二电极分别在所述静电卡盘板的起点和所述终点之间具有波动的轮廓线。

8.根据权利要求1所述的静电卡盘，其中，

所述多个第一电极或所述多个第二电极在所述静电卡盘板的起点和所述终点之间包括用于冷却气体孔的一个以上的孔。

9.根据权利要求1所述的静电卡盘，其中，

所述多个第一电极或所述多个第二电极在所述静电卡盘板的起点和所述终点之间包括用于冷却气体孔的宽度变窄的部分。

10.根据权利要求1所述的静电卡盘，其中，

所述多个电极包括多个电极图案，所述多个电极图案之间包括多个电极间隙，

所述电极间隙的中心线的长度为所述电极图案的中心线的长度的1.1～5倍。

11.根据权利要求1所述的静电卡盘，其中，

所述多个电极分别包括被经过所述中心的两个正交线段区分的4个象限，所述两个正交线段中一个是对应电极的所述终点的中心线的切线与所述静电卡盘板的外围相交形成的延长线，所述4个象限的面积比偏差或标准偏差为0.2以下。

12.根据权利要求1所述的静电卡盘，其中，

所述多个电极分别包括由所述终点的中心线的切线与所述静电卡盘板的外围相交形成的延长线区分的上部区域和下部区域，所述上部区域的面积和下部区域的面积的相对面积比差为10％以下。

13.一种静电卡盘，包括：

基材；及

静电卡盘板，固定于所述基材上，并且包括被施加用于卡紧和解除卡紧的偏压的多个电极，

所述多个电极分别具有从所述静电卡盘板边缘的起点向中心侧的终点延长的螺旋形图案，并且具有通过所述终点的中心线的切线与所述静电卡盘板的外围相交形成的延长线的2个以上的交点。

14.根据权利要求13所述的静电卡盘，其中，

所述多个电极分别具有通过与所述延长线正交的线段的延长线的2个以上的交点。

15.一种静电卡盘，包括绝缘层、所述绝缘层上的电极层以及所述电极层上的电介质层，

所述电极层包括多个电极，所述多个电极接收用于卡紧和解除卡紧的偏压，

所述多个电极具有从所述静电卡盘板的边缘的起点向中心侧的终点延长的螺旋形图案，所述螺旋形图案的旋转角是360°*n，n是1以上且2以下的实数。