[发明专利]一种透光盖板、光学传感器及其制造方法有效
申请号: | 202010068318.9 | 申请日: | 2020-01-20 |
公开(公告)号: | CN111261647B | 公开(公告)日: | 2021-06-08 |
发明(设计)人: | 王顺波;李利;钟磊 | 申请(专利权)人: | 甬矽电子(宁波)股份有限公司 |
主分类号: | H01L27/146 | 分类号: | H01L27/146 |
代理公司: | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人: | 付兴奇 |
地址: | 315400 浙江省宁*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 透光 盖板 光学 传感器 及其 制造 方法 | ||
一种透光盖板、光学传感器及其制造方法,属于传感器领域。通过选择在玻璃内部形成切割道并且在表面形成未完全固化。由此可以方便地制作用于光学传感器封装的玻璃盖板,从而使得光学传感器的封装制作的工艺成本更低、对设备要求低,且由此获得产品的良率提高。
技术领域
本申请涉及传感器领域,具体而言,涉及一种透光盖板、光学传感器及其制造方法。
背景技术
接触式图像传感器(Contact Image Sensor,简称CIS)是一种新型的线型图像传感器。CIS是继电荷耦合元件(Charge-coupledDevice,简称CCD)之后,这几年来研究和开发的光电耦合器件。CIS是这样一种处理电子器件,其能够将对图像的光学信号进行感知,并转换成电子信号。
目前,CIS广泛应用于如智能终端、相机、扫描态势感知等领域。为了提高基于其的制成品/产品的成像质量和实用性,这种器件在设计之初一般需要进行封装后,再安装在终端设备之中。
然而,现有的封装工艺过于复杂,生产效率相对较低。此外,封装结构较为复杂,制造过程中良品率不易控制。
发明内容
基于上述的不足,本申请提供了一种透光盖板、光学传感器及其制造方法,以部分或全部地改善、甚至解决相关技术中器件的封装问题。
本申请是这样实现的:
在第一方面,本申请的示例提供了一种应用于光学器件封装工艺中,以制造透光盖板的方法。
该方法包括:预处理透光面板,以在透光面板内部形成切割道,且在表面形成未完全固化的胶水;沿切割道将透光面板分开,以形成多个玻璃单片,且每个玻璃单片均具有未完全固化的胶水。
结合第一方面,在本申请的第一方面的第一种可能的实施方式中,在预处理透光面板的步骤中,切割道在未完全固化的胶水之前形成。
可选地,切割道是通过激光隐形切割实现的。
可选地,激光隐形切割设备的工作条件为:最大输出功率5KW,进给速度600mm/s以上,运行精度2微米以内,θ旋转达到380度。
可选地,形成切割道之后,形成未完全固化的胶水之前,还包括对透光面板的表面进行清洗和干燥。
结合第一方面或第一方面的第一种实施方式,在本申请的第一方面的第二种可能的实施方中,未完全固化的胶水是通过丝网印刷将胶水转移至透光面板的表面的指定位置,再通过控制固化条件使其非完全固化而实现。
可选地,通过丝网印刷将胶水转移至透光面板的表面的指定位置的方法包括:将胶水涂覆于丝网,随后覆盖在透光面板的表面,并通过刮动方式使胶水通过丝网的网孔渗透到透光面板的表面。
可选地,丝网是聚脂丝网或钢丝网,丝网厚度为25微米至80微米,丝网的交织缝隙为在200目至400目之间。
可选地,胶水选择为热固化胶,固化条件包括加热温度和加热时间。
结合第一方面,在本申请的第一方面的第三种可能的实施方式中,沿切割道将透光面板分开的方法包括:将在内部具有切割道的透光面板固着于承载膜,通过使承载膜延展而对透光面板施加作用力,使切割道受到集中的应力并发育为贯穿透光面板的裂痕,以分裂透光面板。
在第二方面,本申请的示例提供了一种透光盖板。
该透光盖板定义有厚度方向,且具有与厚度方向垂直的表面,并且表面在周缘处具有未完全固化的胶水。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的