[发明专利]一种抽排装置及激光切割装置有效

专利信息
申请号: 202010068547.0 申请日: 2020-01-21
公开(公告)号: CN111185667B 公开(公告)日: 2022-04-29
发明(设计)人: 杨晓伟;王理华 申请(专利权)人: 上海精测半导体技术有限公司
主分类号: B23K26/16 分类号: B23K26/16;B23K26/70;B23K26/38
代理公司: 苏州友佳知识产权代理事务所(普通合伙) 32351 代理人: 储振
地址: 201700 上海市青浦区*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 装置 激光 切割
【权利要求书】:

1.一种抽排装置,其特征在于,包括:

吸盘,所述吸盘形成抽吸室,抽吸室上方连接气路管道,嵌置于抽吸室的内部并具有第一中空腔室的气旋环,至少一个连接至气旋环的进气管,以及与气路管道连通的抽吸管道;

所述抽吸室、气路管道以及抽吸管道所形成的腔体构成主抽排通道;

所述抽吸管道的顶部形成供激光贯穿所述抽吸管道、气路管道、抽吸室至被切割物料的覆盖件,所述气旋环的上表面开设多个出气孔,所述出气孔为能形成向上倾斜的气流的开口,多股所述向上倾斜的气流共同形成旋升气流。

2.根据权利要求1所述的抽排装置,其特征在于,

所述吸盘具有第二中空腔室;

抽排装置还包括:

至少一个与所述吸盘的第二中空腔室连通的出气管,

所述吸盘的底部开设若干辅助抽吸口,所述辅助抽吸口、第二中空腔室与出气管形成辅助抽排通道。

3.根据权利要求2所述的抽排装置,其特征在于,所述气旋环嵌置于抽吸室的内壁面,所述第一中空腔室呈环形;

所述进气管贯穿吸盘的第二中空腔室,并横向接入气旋环。

4.根据权利要求1所述的抽排装置,其特征在于,所述覆盖件为密封镜头或者平板玻璃。

5.根据权利要求1所述的抽排装置,所述抽吸管道的两端端部呈敞口结构,第一端与空气输送装置连接,第二端与抽吸装置连接。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的抽排装置,其特征在于,所述气路管道形成向上收缩并与抽吸管道连通的锥形腔体。

7.根据权利要求2所述的抽排装置,其特征在于,所述辅助抽吸口配置为若干弧形狭缝。

8.根据权利要求7所述的抽排装置,其特征在于,所述辅助抽吸口包括若干分离的弧形狭缝组成的至少两圈狭缝环,相邻两圈狭缝环所包含的弧形狭缝环沿吸盘的径向方向存在部分重合。

9.根据权利要求2所述的抽排装置,其特征在于,所述吸盘配置呈轴对称设置并与所述吸盘的第二中空腔室连通的偶数个出气管。

10.一种激光切割装置,其特征在于,包括:

承载物料的载台,激光发生器,以及配置于载台与激光发生器之间的如权利要求1至9中任一项所述的抽排装置;

所述激光发生器包括二氧化碳激光发生器和/或UV激光发生器。

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