[发明专利]探针卡装置及其类颈式探针

权利要求书

1.一种探针卡装置，其特征在于，所述探针卡装置包括：

一第一导板单元与一第二导板单元，彼此间隔地设置；以及

多个类颈式探针，各呈长形且沿其长度方向具有一针长度，并且多个所述类颈式探针穿设于所述第一导板单元与所述第二导板单元；其中，每个所述类颈式探针包含有：

一导电针体，包含有：

一行程段，位于所述第一导板单元与所述第二导板单元之间且包含有两个宽侧面及两个窄侧面，并且所述行程段于每个所述宽侧面凹设形成有自其中一个所述窄侧面延伸至其中另一个所述窄侧面的一长沟槽；其中，两个所述长沟槽彼此相邻设置且相隔有一最小距离，并且所述最小距离为两个所述宽侧面之间的一最大距离的95％～75％；及

两个末端段，分别自所述行程段的两端延伸穿出所述第一导板单元与所述第二导板单元；及

一环状绝缘体，设置于所述导电针体的两个所述长沟槽、并设置于位在两个所述长沟槽之间的两个所述窄侧面的部位上；其中，所述类颈式探针在设置于两个所述长沟槽的所述环状绝缘体的部位具有一厚度，其为所述最大距离的85％～115％；

其中，所述第一导板单元与所述第二导板单元能够以介于所述针长度的12％～19％的一位移距离彼此斜向错位，以使多个所述类颈式探针的所述行程段朝相同方向弯曲，并且每个所述行程段的两个所述宽侧面所分别对应形成的两个反曲点分别位于两个所述长沟槽。

2.依据权利要求1所述的探针卡装置，其特征在于，于每个所述类颈式探针中，所述行程段的两个所述长沟槽呈镜像对称设置，并且每个所述长沟槽是沿着垂直所述长度方向的一方向自其中一个所述窄侧面延伸至其中另一个所述窄侧面。

3.依据权利要求1所述的探针卡装置，其特征在于，当所述第一导板单元与所述第二导板单元彼此斜向错位时，任两个所述类颈式探针位于同侧的两个所述反曲点，其与所述第一导板单元的距离的一差值不大于所述针长度的1％。

4.依据权利要求1所述的探针卡装置，其特征在于，于每个所述类颈式探针中，设置于任一个所述长沟槽的所述环状绝缘体的一部位，其包含有位于所述长沟槽内的一充填部及分别位于所述充填部相反两侧的两个端部，并且两个所述端部凸出于相对应的所述宽侧面，用以作为定义所述厚度的边界。

5.依据权利要求1所述的探针卡装置，其特征在于，于每个所述类颈式探针中，任一个所述长沟槽在所述长度方向上的一长度，其为所述行程段在所述长度方向上的一长度的至少50％。

6.依据权利要求1所述的探针卡装置，其特征在于，于每个所述类颈式探针中，所述导电针体呈直条状，并且所述行程段未形成有凸出于两个所述宽侧面与两个所述窄侧面的任何突出状结构。

7.依据权利要求6所述的探针卡装置，其特征在于，所述第一导板单元包含有多个第一导板，并且所述第二导板单元包含有多个第二导板；于每个所述类颈式探针中，其中一个所述末端段能通过多个所述第一导板的错位而被固定，而其中另一个所述末端段能通过多个所述第二导板的错位而被固定。

8.一种探针卡装置的类颈式探针，其特征在于，所述类颈式探针呈长形且包括：

一导电针体，包含有：

一行程段，包含有两个宽侧面及两个窄侧面，并且所述行程段于每个所述宽侧面凹设形成有自其中一个所述窄侧面延伸至其中另一个所述窄侧面的一长沟槽；其中，两个所述长沟槽彼此相邻设置且相隔有一最小距离，并且所述最小距离为两个所述宽侧面之间的一最大距离的95％～75％；及

两个末端段，分别自所述行程段的两端延伸所形成；以及

一环状绝缘体，包围于所述导电针体形成有两个所述长沟槽的部位；其中，所述类颈式探针在设置于两个所述长沟槽的所述环状绝缘体的部位具有一厚度，其为所述最大距离的85％～115％；

其中，所述类颈式探针的两个所述末端段能受力而使所述行程段呈弯曲状、且使两个所述宽侧面所分别对应形成的两个反曲点分别位于两个所述长沟槽内。