[发明专利]探针卡装置及其类颈式探针

说明书

本发明公开一种探针卡装置及其类颈式探针，所述类颈式探针呈长形且包含导电针体与环状绝缘体。导电针体包含行程段及分别自行程段的两端延伸的两个末端段。行程段包含两个宽侧面及两个窄侧面、且于每个宽侧面凹设形成有自两个窄侧面的其中之一延伸至其中另一的长沟槽。两个长沟槽相邻设置且相隔有最小距离，其为两个宽侧面之间的最大距离的95％～75％。环状绝缘体包围于导电针体形成有两个长沟槽的部位，类颈式探针在设置于两个长沟槽的环状绝缘体的部位具有一厚度，其为最大距离的85％～115％。据此，所述导电针体通过形成有两个所述长沟槽，以有效地控制其下压力量，进而令所述导电针体可以稳定地顶抵且不破坏上述待测物。

技术领域

本发明涉及一种探针卡，尤其涉及一种探针卡装置及其类颈式探针。

背景技术

现有探针卡装置的导电探针包含有一导电针体及形成在所述导电针体中央处的一绝缘层，而所述导电针体的宽度与厚度大致相同，所以上述绝缘层整体是呈突出状。然而，现有导电探针的上述导电针体与绝缘层之间的配合构造已经行之有年，因而也无形中阻碍了现有探针卡装置的进一步研发与进步。

于是，本发明人认为上述缺陷可改善，乃特潜心研究并配合科学原理的运用，终于提出一种设计合理且有效改善上述缺陷的本发明。

发明内容

本发明实施例在于提供一种探针卡装置及其类颈式探针，其能够有效地改善现有导电探针所可能产生的缺陷。

本发明实施例公开一种探针卡装置，其包括一第一导板单元、一第二导板单元以及多个类颈式探针。一第一导板单元与一第二导板单元彼此间隔地设置；多个类颈式探针呈长形且沿其长度方向具有一针长度，并且多个类颈式探针穿设于第一导板单元与第二导板单元；其中，每个类颈式探针包含有：一导电针体，包含有：一行程段，位于第一导板单元与第二导板单元之间且包含有两个宽侧面及两个窄侧面，并且行程段于每个宽侧面凹设形成有自其中一个窄侧面延伸至其中另一个窄侧面的一长沟槽；其中，两个长沟槽彼此相邻设置且相隔有一最小距离，并且最小距离为两个宽侧面之间的一最大距离的95％～75％；及两个末端段，分别自行程段的两端延伸穿出第一导板单元与第二导板单元；及一环状绝缘体，设置于导电针体的两个长沟槽、并设置于位在两个长沟槽之间的两个窄侧面的部位上；其中，类颈式探针在设置于两个长沟槽的环状绝缘体的部位具有一厚度，其为最大距离的85％～115％；其中，第一导板单元与第二导板单元能够以介于针长度的12％～19％的一位移距离彼此斜向错位，以使多个类颈式探针的行程段朝相同方向弯曲，并且每个行程段的两个宽侧面所分别对应形成的两个反曲点分别位于两个长沟槽。

优选地，于每个类颈式探针中，行程段的两个长沟槽呈镜像对称设置，并且每个长沟槽是沿着垂直长度方向的一方向自其中一个窄侧面延伸至其中另一个窄侧面。

优选地，当第一导板单元与第二导板单元彼此斜向错位时，任两个类颈式探针位于同侧的两个反曲点，其与第一导板单元的距离的一差值不大于针长度的1％。

优选地，于每个类颈式探针中，设置于任一个长沟槽的环状绝缘体的一部位，其包含有位于长沟槽内的一充填部及分别位于充填部相反两侧的两个端部，并且两个端部凸出于相对应的宽侧面，用以作为定义厚度的边界。

优选地，于每个类颈式探针中，任一个长沟槽在长度方向上的一长度，其为行程段在长度方向上的一长度的至少50％。

优选地，于每个类颈式探针中，导电针体呈直条状，并且行程段未形成有凸出于两个宽侧面与两个窄侧面的任何突出状结构。

优选地，第一导板单元包含有多个第一导板，并且第二导板单元包含有多个第二导板；于每个类颈式探针中，其中一个末端段能通过多个第一导板的错位而被固定，而其中另一个末端段能通过多个第二导板的错位而被固定。