[发明专利]光学测定系统和光学测定方法

权利要求书

1.一种光学测定系统，具备：

光源，其产生用于向样品照射的测定光；

分光检测器，其接收由所述测定光在所述样品处产生的反射光或透射光；以及

处理装置，其被输入所述分光检测器的检测结果，

其中，所述处理装置构成为能够执行以下处理：

基于所述分光检测器的检测结果，来计算第一光谱；

在所述第一光谱中确定与波长有关的振幅的变化满足规定条件的区间；以及

使用从所述第一光谱去除所确定的所述区间的信息所得到的第二光谱，来计算所述样品的光学特性。

2.根据权利要求1所述的光学测定系统，其中，

进行所述确定的处理包括以下处理：

针对所述第一光谱，依次设定具有预先决定的波长幅度的评价窗；以及

基于各评价窗中包含的所述第一光谱的振幅的变化，来判断与各评价窗对应的区间是否满足所述规定条件。

3.根据权利要求2所述的光学测定系统，其中，

判断与各评价窗对应的区间是否满足所述规定条件的处理包括以下处理：计算所述第一光谱的与各评价窗对应的区间内的振幅的偏差的程度。

4.根据权利要求3所述的光学测定系统，其中，

在所述第一光谱的与各评价窗对应的区间内的振幅的偏差的程度低于规定阈值的情况下，判断为与该评价窗对应的区间满足所述规定条件。

5.根据权利要求2所述的光学测定系统，其中，

所述评价窗的波长幅度是按样品的种类预先决定的。

6.根据权利要求1至5中的任一项所述的光学测定系统，其中，

计算所述样品的光学特性的处理包括以下处理：基于对所述第二光谱进行傅里叶变换所得到的结果中出现的峰值，来计算膜厚。

7.根据权利要求1至5中的任一项所述的光学测定系统，其中，

计算所述第一光谱的处理包括以下处理：基于所述分光检测器的检测结果计算所述样品的反射率光谱，来作为所述第一光谱。

8.根据权利要求1至5中的任一项所述的光学测定系统，其中，

计算所述第一光谱的处理包括以下处理：计算从基于所述分光检测器的检测结果计算出的所述样品的反射率光谱去除源自所述样品中包含的除测定对象以外的层的信息所得到的反射率光谱，来作为所述第一光谱。

9.根据权利要求8所述的光学测定系统，其中，

计算所述第一光谱的处理还包括以下处理：

对所述样品的反射率光谱进行傅里叶变换，来计算第三光谱；

确定所述第三光谱中的源自所述样品中包含的除测定对象以外的层的峰值；以及

计算从所述第三光谱去除所确定的该峰值及该峰值附近的信息所得到的第四光谱。

10.根据权利要求9所述的光学测定系统，其中，

计算所述第一光谱的处理还包括以下处理：对所述第四光谱进行逆傅里叶变换，来计算所述第一光谱。

11.一种光学测定方法，包括以下步骤：

从光源向样品照射测定光，并基于利用分光检测器接收由该测定光在所述样品处产生的反射光或透射光所得到的检测结果，来计算第一光谱；

在所述第一光谱中确定与波长有关的振幅的变化满足规定条件的区间；以及

使用从所述第一光谱去除所确定的所述区间的信息所得到的第二光谱，来计算所述样品的光学特性。