[发明专利]清洗喷嘴以及被清洗物的清洗方法在审
| 申请号： | 202010080346.2 | 申请日： | 2020-02-05 |
| 公开（公告）号： | CN111530649A | 公开（公告）日： | 2020-08-14 |
| 发明（设计）人： | 植山博光;加藤圭 | 申请（专利权）人： | 株式会社迪思科 |
| 主分类号： | B05B7/04 | 分类号： | B05B7/04;B08B3/02;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 于靖帅;黄纶伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 清洗 喷嘴 以及 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种清洗喷嘴，其对被清洗物进行清洗，其特征在于，
该清洗喷嘴具有：
清洗液提供路，其将清洗液提供源与该清洗喷嘴连通；
空气提供路，其将空气提供源与该清洗喷嘴连通；
空气阀，其对空气提供路进行开闭；以及
控制构件，其间歇地对该空气阀进行开闭。
2.一种被清洗物的清洗方法，其特征在于，
该被清洗物的清洗方法具有如下的步骤：
清洗液提供步骤，向清洗喷嘴提供清洗液；以及
清洗液喷射步骤，向该清洗喷嘴提供空气，喷射积存在该清洗喷嘴内的清洗液，
该清洗液喷射步骤是在该清洗喷嘴内积存规定的量的清洗液的时机间歇地进行的。
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