[发明专利]基板搬运系统及基板搬运系统的控制方法

权利要求书

1.一种基板搬运系统，其特征在于，

具备：第一基板搬运装置，其用于从能收容多块玻璃基板的线盒搬出所述玻璃基板或将所述玻璃基板搬入所述线盒；基板搬运机器人，其具有装载所述玻璃基板的手；第二基板搬运装置，其在所述第一基板搬运装置和所述基板搬运机器人之间搬运所述玻璃基板；以及控制部，

所述第一基板搬运装置具备：放置部，其放置所述线盒；放置部升降机构，其使所述放置部升降；以及第一搬运机，其具有与所述玻璃基板的下表面接触并沿水平方向直线搬运所述玻璃基板的多个第一搬运辊，

所述基板搬运机器人具备：臂，其连接所述手；基台，其构成所述基板搬运机器人的下端部；手移动机构，其使所述手相对于所述基台沿水平方向直线移动；臂升降机构，其使所述臂相对于所述基台升降；以及转动机构，其以上下方向为转动的轴方向使所述臂相对于所述基台转动，

将所述第一搬运机对所述玻璃基板的搬运方向设为第一方向，将与上下方向和第一方向正交的方向设为第二方向时，

所述第二基板搬运装置具备：第二搬运机，其沿第一方向搬运所述玻璃基板；滑动机构，其使所述第二搬运机沿第二方向直线移动；以及检测机构，所述检测机构用于检测从所述线盒搬出并放置在所述第二搬运机上的所述玻璃基板的第一方向上的位置、第二方向上的位置及相对于第一方向的倾斜度，

所述第一基板搬运装置、所述第二基板搬运装置以及所述基板搬运机器人在第一方向上按顺序配置，

所述控制部基于所述检测机构的检测结果，通过所述滑动机构修正将放置在所述第二搬运机上的所述玻璃基板装载到所述手上时的所述第二搬运机的第二方向上的位置，通过所述手移动机构修正将放置在所述第二搬运机上的所述玻璃基板装载到所述手上时的所述手的第一方向上的位置，并且通过所述转动机构修正将放置在所述第二搬运机上的所述玻璃基板装载到所述手上时的所述手相对于第一方向的倾斜度。

2.根据权利要求1所述的基板搬运系统，其特征在于，

具备沿第二方向排列的多个所述第一基板搬运装置。

3.根据权利要求1或2所述的基板搬运系统，其特征在于，

所述第二搬运机是辊式输送机，所述辊式输送机具有与所述玻璃基板的下表面接触并沿第一方向搬运所述玻璃基板的多个第二搬运辊，

所述第二基板搬运装置具备基板提升机构，所述基板提升机构提升与多个所述第二搬运辊接触的所述玻璃基板，使所述玻璃基板从多个所述第二搬运辊浮起。

4.根据权利要求1或2所述的基板搬运系统，其特征在于，

所述臂由以互相能转动的方式连接的多个臂部构成，

所述手移动机构是使所述臂伸缩以使所述手以朝向固定方向的状态直线移动的臂驱动机构。

5.根据权利要求3所述的基板搬运系统，其特征在于，

所述臂由以互相能转动的方式连接的多个臂部构成，

所述手移动机构是使所述臂伸缩以使所述手以朝向固定方向的状态直线移动的臂驱动机构。

6.一种基板搬运系统的控制方法，其是权利要求1～5中任一项所述的基板搬运系统的控制方法，其特征在于，

基于所述检测机构的检测结果，通过所述滑动机构修正将放置在所述第二搬运机上的所述玻璃基板装载到所述手上时的所述第二搬运机的第二方向上的位置，通过所述手移动机构修正将放置在所述第二搬运机上的所述玻璃基板装载到所述手上时的所述手的第一方向上的位置，并且通过所述转动机构修正将放置在所述第二搬运机上的所述玻璃基板装载到所述手上时的所述手相对于第一方向的倾斜度。