[发明专利]基板搬运系统及基板搬运系统的控制方法

说明书

本发明提供一种基板搬运系统及基板搬运系统的控制方法，该基板搬运系统能够将从线盒搬出的玻璃基板供给到各个位置，或者从各个位置收集搬入线盒的玻璃基板。该基板搬运系统(1)具备：用于从线盒(3)搬出玻璃基板(2)的第一基板搬运装置(4)；具有装载玻璃基板的手(33)的基板搬运机器人(5)；在第一基板搬运装置和基板搬运机器人之间搬运玻璃基板的第二基板搬运装置(6)，第一基板搬运装置、第二基板搬运装置以及基板搬运机器人在X方向上按该顺序配置。基板搬运机器人具备：连接手(33)的臂(34)；使臂(34)伸缩的臂驱动机构；使臂(34)升降的臂升降机构；以上下方向为转动的轴方向使臂(34)转动的转动机构。

技术领域

本发明涉及一种基板搬运系统，用于在能收容多块玻璃基板的线盒和对玻璃基板进行规定处理的处理装置之间搬运玻璃基板。另外，本发明涉及这种基板搬运系统的控制方法。

背景技术

目前，知道用于将玻璃基板供给到对液晶显示装置用的玻璃基板进行规定处理的处理装置上的基板供给装置(例如，参照专利文献1)。专利文献1中记载的基板供给装置由第一单元、第二单元以及搬运单元构成。第一单元及第二单元具备：放置线盒的放置部；使放置部升降的升降机构；以及搬运玻璃基板的辊式输送机。搬运单元是辊式输送机。基板供给装置配置于处理装置的上游侧。另外，第一单元、第二单元以及搬运单元从上游侧朝向下游侧按该顺序配置。在基板供给装置中，被搬入处理装置的玻璃基板最后通过搬运单元来搬运。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2018－83700号公报

发明内容

发明所要解决的技术问题

在专利文献1所记载的基板供给装置的情况下，因为玻璃基板从线盒搬出并搬入到处理装置，最后由作为辊式输送机的搬运单元搬运，所以只能将从线盒搬出的玻璃基板供给到固定位置。

因此，本发明的技术问题在于提供一种基板搬运系统，能够将从线盒搬出的玻璃基板供给到各个位置，或者从各个位置收集搬入线盒的玻璃基板。另外，本发明的技术问题在于提供这种基板搬运系统的控制方法。

解决技术问题所采用的技术方案

为了解决上述技术问题，本发明提供一种基板搬运系统，其特征在于，具备：第一基板搬运装置，其用于从能收容多块玻璃基板的线盒搬出玻璃基板或将玻璃基板搬入线盒；基板搬运机器人，其具有装载玻璃基板的手；以及第二基板搬运装置，其在第一基板搬运装置和基板搬运机器人之间搬运玻璃基板，第一基板搬运装置具备：放置部，其放置线盒；放置部升降机构，其使放置部升降；以及第一搬运机，其具有与玻璃基板的下表面接触并沿水平方向直线搬运玻璃基板的多个第一搬运辊，基板搬运机器人具备：臂，其连接手；基台，其构成基板搬运机器人的下端部；手移动机构，其使手相对于基台沿水平方向直线移动；臂升降机构，其使臂相对于基台升降；以及转动机构，其以上下方向为转动的轴方向使臂相对于基台转动，将第一搬运机对玻璃基板的搬运方向设为第一方向，将与上下方向和第一方向正交的方向设为第二方向时，第二基板搬运装置具备沿第一方向搬运玻璃基板的第二搬运机和使第二搬运机沿第二方向直线移动的滑动机构，第一基板搬运装置、第二基板搬运装置以及基板搬运机器人在第一方向上按该顺序配置。

在本发明的基板搬运系统中，第一基板搬运装置、第二基板搬运装置以及基板搬运机器人在第一方向上按该顺序配置。另外，在本发明中，基板搬运机器人具备：装载玻璃基板的手；连接手的臂；使手在水平方向上直线移动的手移动机构；使臂升降的臂升降机构；以及以上下方向为转动的轴方向使臂转动的转动机构。