[发明专利]双台面曝光机及控制双台面曝光机开关门的方法

权利要求书

1.一种双台面曝光机，其特征在于，包括：

机体，所述机体包括第一台面和第二台面；

第一门体和第二门体，所述第一门体位于所述第一台面之上且与所述第一台面之间具有间隙，所述第二门体位于所述第二台面之上且与所述第二台面之间具有间隙，在垂直于台面方向上，所述第一门体与所述第二门体错开；

电动执行装置，设置在所述机体上且与所述第一门体和所述第二门体机械连接，用于根据第一门体驱动信号控制所述第一门体在平行于台面方向移动，以敞开或遮盖所述第一台面，或者，根据第二门体驱动信号控制所述第二门体在平行于台面方向上移动，以敞开或遮盖所述第二台面；

控制装置，与所述电动执行装置电连接，用于根据操作指令输出所述第一门体驱动信号或者所述第二门体驱动信号。

2.根据权利要求1所述的双台面曝光机，其特征在于，

在所述第一台面和所述第二台面的一侧，所述机体上设置有平行于台面方向延伸且在所述垂直于台面方向错开的第一滑槽和第二滑槽，所述第一门体的一端容纳在所述第一滑槽，所述第二门体的一端容纳在所述第二滑槽，在所述第一台面和所述第二台面的另一侧，所述机体上设置有平行于台面方向延伸的第一滑轨和第二滑轨；

所述电动执行装置包括第一编码器、第一电机和第一滑块，所述第一门体的另一端设置在所述第一滑块上，所述第一编码器与所述控制装置电连接，用于根据所述第一门体驱动信号控制所述第一电机以驱动所述第一滑块沿所述第一滑轨移动，以带动所述第一门体在平行于台面方向移动；

所述电动执行装置还包括第二编码器、第二电机和第二滑块，所述第二滑块与所述第一滑块在垂直于台面方向上相错开，所述第二门体的另一端设置在所述第二滑块上，所述第二编码器与所述控制装置电连接，用于根据所述第二门体驱动信号控制所述第二电机以驱动所述第二滑块沿所述第二滑轨移动，以带动所述第二门体在平行于台面方向移动。

3.根据权利要求2所述的双台面曝光机，其特征在于，所述控制装置包括：

中央处理器，用于根据第一门体开关指令输出第一台面控制信号，或者，根据第二门体开关指令输出第二台面控制信号；

第一伺服电机控制器，分别与所述中央处理器、所述第一编码器电连接，用于根据所述第一台面控制信号发送所述第一门体驱动信号给所述第一编码器；

第二伺服电机控制器，分别与所述中央处理器、所述第二编码器电连接，用于根据所述第二台面控制信号发送第二门体驱动信号给所述第二编码器。

4.根据权利要求1所述的双台面曝光机，其特征在于，所述双台面曝光机还包括：

第一开关组件，与所述中央处理器电连接，用于在接收到操作动作时输出所述第一门体开关指令；

第二开关组件，与所述中央处理器电连接，用于在接收到操作动作时输出所述第二门体开关指令。

5.根据权利要求4所述的双台面曝光机，其特征在于，所述第一开关组件包括：

第一开关和第二开关，均设置在所述机体上且与所述中央处理器电连接，用于在接收到操作动作时输出所述第一门体开关指令。

6.根据权利要求4所述的双台面曝光机，其特征在于，所述第二开关组件包括：

第三开关和第四开关，均设置在所述机体上且与所述中央处理器电连接，用于在接收到操作动作时输出第二门体开关指令。

7.根据权利要求6所述的双台面曝光机，其特征在于，所述控制装置在根据操作指令输出所述第一门体驱动信号或者所述第二门体驱动信号时用于，在接收到所述第一门体打开指令且确定所述第二门体处于关闭状态时，输出所述第一门体驱动信号，或者，在接收到所述第二门体打开指令且确定所述第一门体处于关闭装置时，输出所述第二门体驱动信号。

8.根据权利要求3所述的双台面曝光机，其特征在于，所述中央处理器还用于对所述第一伺服电机控制器和所述第二伺服电机控制器进行监控，并在检测到故障信号时，进行故障警示。