[发明专利]双台面曝光机及控制双台面曝光机开关门的方法

说明书

本发明提出了一种双台面曝光机和控制双台面曝光机开关门的方法，该双台面曝光机包括机体，机体包括第一台面和第二台面；第一门体和第二门体，第一门体位于第一台面之上且与第一台面之间具有间隙，第二门体位于所述第二台面之上且与第二台面之间具有间隙，在垂直于台面方向上，第一门体与第二门体错开；电动执行装置，设置在机体上且与第一门体和第二门体机械连接，用于根据第一门体驱动信号控制所述第一门体在平行于台面方向移动；控制装置，与电动执行装置电连接，用于根据操作指令输出第一门体驱动信号或者所述第二门体驱动信号。本发明的双台面曝光机可以阻挡外部灰尘进入台面，避免造成曝光不良。

技术领域

本发明涉及曝光设备技术领域，尤其是涉及一种双台面曝光机和控制双台面曝光机开关门的方法。

背景技术

PCB(Printed Circuit Board,印刷电路板)板材的直写曝光对机器产能要求很高，因此双台面曝光机应运而生，双台面激光直写曝光机拥有两个双台面，可以做到一个台面在直写曝光的同时，另一个台面提前进行预对准，提高机器的产能。以及，很多曝光机采用气动门的方式控制门的开关，用压缩空气推动门的运动，一方面必须要求现场要有气源，另一方面门的速度受到气源的大小控制。

但是，PCB工艺对环境要求很高，曝光时PCB表面若沾染灰尘，会造成曝光不良。以及，使用气动门的方式控制门的开关，在气源不足时可能会出现门无法打开到位的现象，气源过大导致速度过大引发撞击，而且气动门无法进行高精度定位，可能造成关门不到位，对曝光过程中的PCB板造成污染。

发明内容

本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本发明的一个目的在于提出一种双台面曝光机，该双台面曝光机可以减小机器宽度并阻挡外部灰尘进入台面，避免造成曝光不良。

本发明的第二个目的在于提出一种控制双台面曝光机开关门的方法。

为了达到上述目的，本发明的第一方面实施例提出了一种双台面曝光机，该曝光机包括：机体，所述机体包括第一台面和第二台面；第一门体和第二门体，所述第一门体位于所述第一台面之上且与所述第一台面之间具有间隙，所述第二门体位于所述第二台面之上且与所述第二台面之间具有间隙，在垂直于台面方向上，所述第一门体与所述第二门体错开；电动执行装置，设置在所述机体上且与所述第一门体和所述第二门体机械连接，用于根据第一门体驱动信号控制所述第一门体在平行于台面方向移动，以敞开或遮盖所述第一台面，或者，根据第二门体驱动信号控制所述第二门体在平行于台面方向上移动，以敞开或遮盖所述第二台面；控制装置，与所述电动执行装置电连接，用于根据操作指令输出所述第一门体驱动信号或者所述第二门体驱动信号。

根据本发明实施例的双台面曝光机，通过将第一门体和第二门体分别设置在第一台面和第二台面上，两个门体均垂直于台面方向并上下错开设置，第一门体和第二门体在平行于台面方向运动，执行门体打开或者关闭操作，从而可以防止灰尘落到台面上，提高曝光质量，以及两个门体上下错开设置，相较于两个门体并排设置，可以减小机体宽度，以及，通过电动执行装置控制门体运动，相较于采用气动门的方式控制门体状态，实现速度可控，且开关门位置可精确设定，控制方式更加平稳，避免气源不足或者气源过大对曝光过程产生影响，进而影响曝光质量。