[发明专利]具备行驶及引导功能的滚轮单元及利用其的托盘移送系统在审
申请号: | 202010084861.8 | 申请日: | 2020-02-10 |
公开(公告)号: | CN112309929A | 公开(公告)日: | 2021-02-02 |
发明(设计)人: | 吴珖根;河在福 | 申请(专利权)人: | BNS株式会社;HNS株式会社 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677 |
代理公司: | 成都超凡明远知识产权代理有限公司 51258 | 代理人: | 金相允;洪玉姬 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 具备 行驶 引导 功能 滚轮 单元 利用 托盘 移送 系统 | ||
1.一种具备行驶及引导功能的滚轮单元,连结于用于移送基板的托盘,其特征在于,包括:
旋转单元,其能够旋转地安装于所述托盘的底座,
脚轮块,其借助连结构件而连结于所述旋转单元,向左右侧下方具有倾斜端面部,
引导滚轮,其在所述脚轮块的左右侧倾斜端面部结合有多个;
所述旋转单元包括:
底座固定部,其连结于所述托盘的底座,
旋转外壳,其在所述底座固定部的下部,插入用于使所述脚轮块旋转的轴承;
所述脚轮块包括:
脚轮外壳,其为所述脚轮块的主体部,
脚轮倾斜部,其以向左右侧下方具有倾斜角的端面部形成,
脚轮垫,其作为所述脚轮块的下部面,以平坦的端面部形成,及
脚轮轴,其结合于所述轴承所插入的旋转外壳,用于旋转所述脚轮块;
所述引导滚轮包括:
行驶滚轮,其以圆筒形形成,涂覆有与行驶轨道及连接轨道部接触的聚氨酯材料的胶轮,及
滚轮轴,其作为与所述脚轮块的脚轮倾斜部连接的旋转用介质构件,在所述行驶滚轮内部具备轴承,所述滚轮轴与所述轴承贴紧,以所述脚轮块为介质进行旋转;
所述引导滚轮,在所述脚轮块的左右侧倾斜端面部,左右侧彼此交错地结合有多个。
2.根据权利要求1所述的具备行驶及引导功能的滚轮单元,其特征在于,
所述引导滚轮以水平面为基准,保持∠1°~∠89°的倾斜角进行结合。
3.根据权利要求1所述的具备行驶及引导功能的滚轮单元,其特征在于,
附着于所述托盘的所述滚轮单元的引导滚轮以面接触方式安放于行驶轨道,移动所述托盘。
4.根据权利要求3所述的具备行驶及引导功能的滚轮单元,其特征在于,
所述行驶轨道包括:
轨道垫,作为上部端面,所述轨道垫平坦,在用于移送基板的托盘移送系统中交叉地形成多个;轨道倾斜部,所述轨道倾斜部向所述轨道垫的左右侧下方倾斜;异物承接部,所述异物承接部从所述轨道倾斜部延长,由槽部构成。
5.根据权利要求4所述的具备行驶及引导功能的滚轮单元,其特征在于,
所述轨道倾斜部的倾斜角相对于水平面,保持∠1°~∠89°的倾斜角形成。
6.根据权利要求4所述的具备行驶及引导功能的滚轮单元,其特征在于,
所述引导滚轮安放于向所述行驶轨道的左右侧下方倾斜的轨道倾斜部,作为所述脚轮块下部面而以平坦的端面部形成的脚轮垫端面,以面接触方式安放于作为所述行驶轨道上部端面的平坦的轨道垫端面,移送所述托盘。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于BNS株式会社;HNS株式会社,未经BNS株式会社;HNS株式会社许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202010084861.8/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造