[发明专利]浮式结构的探针装置有效
| 申请号： | 202010092886.2 | 申请日： | 2020-02-14 |
| 公开（公告）号： | CN111584379B | 公开（公告）日： | 2023-10-03 |
| 发明（设计）人： | 罗基述 | 申请（专利权）人： | 菲尼克森控制有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/66 | 分类号： | H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京锺维联合知识产权代理有限公司 11579 | 代理人： | 罗银燕 |
| 地址： | 韩国京畿道华*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 结构 探针 装置 | ||
1.一种浮式结构的探针装置，其特征在于，包括：
探针单元，在一端形成能够插入传递电信号的针的槽，在另一端形成引导部；以及
板单元，具有能够插入上述引导部并支撑上述引导部的一部分的内部空间，
上述引导部根据施加于上述针的外力，从上述内部空间隔开规定距离。
2.根据权利要求1所述的浮式结构的探针装置，其特征在于，上述探针单元包括弹性部，上述弹性部将施加于上述针的外力向上述引导部传递，若消除施加于上述针的外力，则使上述引导部与上述内部空间相接触。
3.根据权利要求1所述的浮式结构的探针装置，其特征在于，上述引导部的一部分的宽度沿着长度方向逐渐变大。
4.一种浮式结构的探针装置，其特征在于，包括：
探针单元，在一端形成能够插入传递电信号的针的槽，在另一端形成引导部；
板单元，在一端部插入设置上述引导部的一部分；以及
弹性单元，连接上述探针单元的另一端与上述板单元的一端，通过施加于上述针的外力来收缩或松弛。
5.根据权利要求4所述的浮式结构的探针装置，其特征在于，上述引导部包括：
引导部件，一端部形成球形；以及
收容空间，收容上述引导部件。
6.根据权利要求4所述的浮式结构的探针装置，其特征在于，具有多个上述弹性单元，上述探针单元的轴通过上述外力来以上述引导部的轴为基准倾斜。
7.根据权利要求4所述的浮式结构的探针装置，其特征在于，上述板单元包括：
板部件，插入设置上述引导部；以及
弹簧部件，若消除上述外力，则向上述板部件提供复原力。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
