[发明专利]一种用于芯片镀膜工艺的治具拼接结构有效
申请号: | 202010095916.5 | 申请日: | 2020-02-17 |
公开(公告)号: | CN111411331B | 公开(公告)日: | 2022-05-10 |
发明(设计)人: | 蒋海兵 | 申请(专利权)人: | 深圳市海铭德科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/34 | 分类号: | C23C14/34;C23C14/22;C23C14/50;H01L21/673 |
代理公司: | 深圳市道勤知酷知识产权代理事务所(普通合伙) 44439 | 代理人: | 何兵 |
地址: | 518000 广东省深圳市宝安区福海街*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 芯片 镀膜 工艺 拼接 结构 | ||
1.一种用于芯片镀膜工艺的治具拼接结构,其特征在于:包括避镀治具(800),所述避镀治具(800)上设置有第一隔条(810)和第二隔条(820),所述第一隔条(810)和第二隔条(820)相互垂直设置,并在所述避镀治具(800)的工作面上形成若干个用于安放镀膜治具的工作位(830),所述工作位(830)的尺寸与镀膜治具的尺寸相同,使得镀膜治具刚好放入所述工作位(830)中,所述镀膜治具的上表面边缘向外延伸形成一延展部,安放好的镀膜治具的延展部之间的间距小于0.5mm;
所述镀膜治具包括治具本体(100);芯片槽(200),多个所述芯片槽(200)阵列设于所述治具本体(100)的顶面上,每个所述芯片槽(200)底壁中心位置分别开设有贯穿所述治具本体(100)的顶针槽(300);顶针槽(300),包括设于所述芯片槽(200)底壁中心位置的出针孔(310)和设于所述治具本体(100)的底面的进针孔(320);第一线槽组(400),设于所述镀膜治具的顶面上,包括纵向线槽(410)和横向线槽(420),所述纵向线槽(410)设于左右相邻的两列所述芯片槽(200)之间,所述横向线槽(420)设于上下相邻的两排所述芯片槽(200)之间;第二线槽组(500),设于所述治具本体(100)的底面上,包括多段连接线槽(510),所述连接线槽(510)的两端分别连接相邻的两个所述进针孔(320);
所述镀膜治具还括用于夹爪抓取进行上下料操作的抓孔(700),所述抓孔(700)设于所述治具本体(100)的延展部处;第二隔条(820)上设置有与所述抓孔(700)对应的沉孔(840)。
2.如权利要求1所述的治具拼接结构,其特征在于:所述避镀治具(800)的边缘向上凸起,所述第一隔条(810)与所述第二隔条(820)设置在所述避镀治具(800)凸缘中间的凹陷位置。
3.如权利要求2所述的治具拼接结构,其特征在于:所述第一隔条(810)有两根,所述第二隔条(820)有九根,所述第一隔条(810)将所述避镀治具(800)的凹陷位置分隔成三份,所述第二隔条(820)以三个为一组,每组将所述第一隔条(810)分隔出的空位分割成四份,形成所述工作位(830),使所述工作位(830)呈现为3×4的矩形阵列。
4.如权利要求1所述的治具拼接结构,其特征在于:所述镀膜治具的上表面上还覆盖有蓝胶(900)。
5.如权利要求4所述的治具拼接结构,其特征在于:所述蓝胶(900)对应所述抓孔(700)的位置处设置有开口(910)。
6.如权利要求5所述的治具拼接结构,其特征在于:所述开口(910)的长度与所述抓孔(700)一致,且所述开口(910)的两端位置呈米字型。
7.如权利要求1所述的治具拼接结构,其特征在于:安放好的镀膜治具的延展部之间的间距小于0.1mm。
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