[发明专利]一种用于芯片镀膜工艺的砝码模组

权利要求书

1.一种用于芯片镀膜工艺的砝码模组，包括底座(1)，其特征在于：

所述底座(1)上设置有XYZ三轴运动平台，所述XYZ三轴运动平台上设置有砝码组件(3)，所述砝码组件(3)包括若干根长条状砝码、下固定架(301)以及上固定架(306)；

所述砝码竖直设置，且穿透所述下固定架(301)和所述上固定架(306)，所述砝码在所述下固定架(301)和所述上固定架(306)之间能够上下运动；

所述砝码在所述下固定架(301)和所述上固定架(306)上的位置对应治具(2)上安装芯片的位置；

所述砝码包括设置在其顶部的延长杆(304)，所述延长杆(304)上放置或移除浮动砝码(305)。

2.如权利要求1所述的砝码模组，其特征在于：所述XYZ三轴运动平台包括X轴(4)、Y轴(5)和Z轴(6)，所述Z轴(6)设置在所述底座(1)上，所述X轴(4)设置在所述Z轴(6)上，所述Y轴(5)设置在所述X轴(4)上。

3.如权利要求2所述的砝码模组，其特征在于：所述Z轴(6)包括设置在所述底座(1)上的Z轴轨道(610)，Z轴驱动装置(620)设置在所述Z轴轨道的顶部驱动Z轴滑块(630)上下运动，所述Z轴滑块(630)上设置有X轴轨道(410)和X轴驱动装置(430)，与所述X轴轨道(410)配合的X轴滑块(420)设置在安装架(7)上，所述安装架(7)上还设置有Y轴轨道(510)和Y轴驱动装置(530)，与所述Y轴轨道(510)对应的Y轴滑块(520)设置在砝码组件安装板(8)上，所述砝码组件(3)设置在所述砝码组件安装板(8)上。

4.如权利要求2所述的砝码模组，其特征在于，所述Z轴滑块(630)呈“口”形，所述Z轴轨道(610)位于所述Z轴滑块(630)的“口”形结构的中间；所述安装架(7)呈“匚”形，且“匚”形的缺口方向朝向所述Z轴(6)，所述Y轴轨道(510)设置在所述安装架(7)的两端位置,所述Y轴驱动装置(530)设置在所述安装架(7)的中间位置，且所述Y轴驱动装置(530)输出轴朝向所述砝码组件安装板(8)上。

5.如权利要求1所述的砝码模组，其特征在于：所述XYZ三轴运动平台包括X轴(4)、Y轴(5)和Z轴(6)，所述Y轴(5)设置在所述底座(1)上，所述Z轴(6)设置在所述Y轴(5)上，所述X轴(4)设置在所述Z轴(6)上。

6.如权利要求5所述的砝码模组，其特征在于：所述Z轴(6)与所述Y轴(5)之间还设置有微调装置(9)，用于砝码模组在X轴方向上的微调。

7.如权利要求1所述的砝码模组，其特征在于，所述砝码与所述上固定架(306)之间采用间隙配合，使之能够在所述上固定架(306)内能够上下活动，所述砝码底部设置有台阶，使得所述砝码能够被所述下固定架(301)托起。

8.如权利要求1所述的砝码模组，其特征在于：所述砝码还包括砝码压头(302)、固定砝码(303)以及压头胶套(307)，所述砝码压头(302)固定在所述固定砝码(303)朝向所述治具(2)的一端，所述压头胶套(307)设置在所述砝码压头(302)远离所述固定砝码(303)的一端。

9.如权利要求8所述的砝码模组，其特征在于：所述压头胶套(307)上接触芯片的位置设置有一凹孔(308)，使得所述压头胶套(307)只会接触芯片顶部四周的位置，所述砝码压头(302)安装所述压头胶套(307)的位置处设置有菌伞状卡头，所述按头胶套(307)与安装在所述卡头上。

10.如权利要求1所述的砝码模组，其特征在于：所述延长杆(304)的一端设置有外螺纹，对应的所述砝码上的安装处设置有螺纹孔，所述延长杆(304)与所述砝码可拆卸连接。