[发明专利]一种基于Wafer ID Reader的自动读码装置

权利要求书

1.一种基于Wafer ID Reader的自动读码装置，其特征在于：包括电控柜(1)、滑台、片篮底座(2)以及读码器(21)，所述滑台以及片篮底座(2)设置在电控柜(1)内，所述滑台用于带动读码器(21)移动，所述电控柜(1)还设有总控模块(4)；

所述电控柜(1)内部设有托板，所述片篮底座(2)设置在托板上，所述片篮底座(2)包括底板(11)，所述底板(11)为对称结构，底板(11)上还设有多个定位块，多个所述定位块用于放置不同尺寸的硅片，所述底板(11)上还设有多个用于检测硅片放置位置的微动开关(9)，多个所述定位块沿底板(11)的对称轴对称设有两组。

2.根据权利要求1所述的一种基于Wafer ID Reader的自动读码装置，其特征在于：多个所述定位块包括第一定位块(10)、第二定位块(12)、第三定位块(13)以及第四定位块(14)，所述第一定位块(10)设置在底板(11)上表面端部，第一定位块(10)设有多个定位口，多个所述定位口呈阶梯型；

所述第二定位块(12)、第三定位块(13)以及第四定位块(14)为L型定位块，所述第二定位块(12)、第三定位块(13)以及第四定位块(14)的开口与第一定位块(10)的多个阶梯型定位口开口形成放置硅片的容纳空间，所述第四定位块(14)沿底板(11)向上延伸的高度大于第二定位块(12)以及第三定位块(13)的高度；

所述第一定位块(10)的多个定位口的截面为阶梯型，所述第一定位块(10)的定位口截面的阶梯高度与第二定位块(12)、第三定位块(13)以及第四定位块(14)的高度对应。

3.根据权利要求1所述的一种基于Wafer ID Reader的自动读码装置，其特征在于：所述滑台包括相互垂直的第一滑台(16)以及第三滑台(26)，

所述电控柜(1)还设有背板(15)，所述背板(15)竖立设置在托板下方，第一滑台(16)设置在背板(15)的一侧，所述第一滑台(16)包括第一滑轨以及第一滑块，所述第一滑台(16)上还设有连接板(24)，所述连接板(24)设置在第一滑块上方，所述连接板(24)与第一滑块通过连接杆固定连接，所述第一滑块通过连接杆带动连接板(24)在竖直方向移动；

所述第三滑台(26)包括第三滑轨以及第三滑块，所述第三滑轨设置在连接板(24)上，第三滑台(26)上还设有竖直板(25)，所述竖直板(25)底部与第三滑块固定连接。

4.根据权利要求3所述的一种基于Wafer ID Reader的自动读码装置，其特征在于：所述连接板(24)上还设有拖链安装板(17)，第三滑台(26)还连接有电缆拖链(27)，所述电缆拖链(27)设置在拖链安装板(17)内。

5.根据权利要求3所述的一种基于Wafer ID Reader的自动读码装置，其特征在于：还包括第二滑台(18)，所述第二滑台(18)设置在背板(15)的另一侧，所述第二滑台(18)包括第二滑轨以及第二滑块，所述第二滑台(18)上部还包括读码器安装板(19)，读码器安装板(19)下端与第二滑块固定连接，上端安装有读码器(21)，所述读码器(21)设有两个，两个所述读码器(21)与总控模块(4)连接，多个所述滑台均设有驱动电机以及电动丝杆，电动丝杆与驱动电机的输出轴连接，多个所述滑台的滑块与电动丝杆连接，通过电动丝杆带动滑块移动。

6.根据权利要求5所述的一种基于Wafer ID Reader的自动读码装置，其特征在于：所述竖直板(25)顶部向读码器(21)一侧延伸还设有陶瓷手指(22)，所述陶瓷手指(22)端部还设有激光传感器(20)以及真空负压吸片机构(23)，所述陶瓷手指(22)、激光传感器(20)以及真空负压吸片机构(23)与总控模块(4)连接。

7.根据权利要求5所述的一种基于Wafer ID Reader的自动读码装置，其特征在于：所述激光传感器(20)设置在两个读码器(21)之间。