[发明专利]掩膜版

权利要求书

1.一种掩膜版，其特征在于，包括掩膜版框架、至少一条掩膜条和至少一个第一弹性连接部；

至少一个所述第一弹性连接部固定于所述掩膜版框架上，并与一所述掩膜条第一方向的一个端部连接，所述第一弹性连接部对所述掩膜条具有第一拉力，所述第一拉力对所述掩膜条产生的形变在所述掩膜条的弹性形变范围内，且所述第一拉力的方向为所述掩膜条第一方向的端部指向所述第一弹性连接部的方向，其中，所述第一方向为所述掩膜条的长度方向；所述掩膜条包括蒸镀区和遮挡区；

沿第二方向，所述掩膜条包括相对设置的第三端部和第四端部；每一所述掩膜条的第三端部与一个第二弹性连接部连接，所述第二弹性连接部对所述掩膜条具有第二拉力，所述第二拉力对所述掩膜条产生的形变在所述掩膜条的弹性形变范围内，且所述第二拉力的方向为所述掩膜条第二方向的端部指向所述第二弹性连接部的方向；其中，所述第二方向为所述掩膜条的宽度方向；

所述第一弹性连接部和/或所述第二弹性连接部与连接的所述掩膜条的端部宽度相等；

所述遮挡区设置有多条应力分散条，所述应力分散条的延伸方向与所述掩膜条的长度方向相交；所述遮挡区包括第一遮挡区和第二遮挡区，所述第一遮挡区设置于所述蒸镀区靠近所述掩膜条第一方向的第一端部的一侧，所述第二遮挡区设置于所述蒸镀区靠近所述掩膜条第一方向的第二端部的一侧；所述第一遮挡区和所述第二遮挡区均包括多条所述应力分散条；沿所述掩膜条的第一端部指向所述蒸镀区的方向，所述第一遮挡区的多条应力分散条的长度依次减小；沿所述掩膜条的第二端部指向所述蒸镀区的方向，所述第二遮挡区的多条应力分散条的长度依次减小。

2.根据权利要求1所述的掩膜版，其特征在于，所述第一弹性连接部的数量与所述掩膜条的数量相等，每一所述掩膜条第一方向的一个端部与一个所述第一弹性连接部连接。

3.根据权利要求2所述的掩膜版，其特征在于，沿所述第一方向，所述掩膜条包括相对设置的第一端部和第二端部，所述掩膜版框架包括相对设置的第一边框和第二边框；所述第一弹性连接部包括固定部和弹性部，所述第一弹性连接部的固定部固定于所述第一边框上，所述第一弹性连接部的弹性部与对应的所述掩膜条的第一端部固定连接，所述掩膜条的第二端部与所述第二边框固定连接。

4.根据权利要求2所述的掩膜版，其特征在于，所述掩膜条为至少两条，所述掩膜版还包括至少一条支撑条和至少一个第二弹性连接部，所述支撑条固定于所述掩膜版框架上，并位于相邻所述掩膜条之间，所述支撑条与所述掩膜条平行设置。

5.根据权利要求4所述的掩膜版，其特征在于，沿所述第二方向，所述掩膜版框架包括相对设置的第三边框和第四边框；所述第二弹性连接部包括固定部和弹性部，所述第二弹性连接部的固定部固定于所述第三边框或所述支撑条上，所述第二弹性连接部的弹性部与所述掩膜条的第三端部固定连接；所述掩膜条的第四端部与所述第四边框或所述支撑条固定连接。

6.根据权利要求1或4所述的掩膜版，其特征在于，所述第一弹性连接部和/或所述第二弹性连接部为笔形涡卷弹簧；所述弹性连接部包括固定部和弹性部，所述固定部为所述笔形涡卷弹簧的笔形外壳，所述弹性部为所述笔形涡卷弹簧的卷簧。

7.根据权利要求6所述的掩膜版，其特征在于，所述笔形涡卷弹簧的卷簧材料为金属；所述笔形涡卷弹簧的卷簧的宽度与连接的所述掩膜条的端部宽度相等。

8.根据权利要求1所述的掩膜版，其特征在于，所述应力分散条为凸起结构；沿所述掩膜条的第一端部指向所述蒸镀区的方向，所述第一遮挡区的多条应力分散条的凸起高度依次减小；沿所述掩膜条的第二端部指向所述蒸镀区的方向，所述第二遮挡区的多条应力分散条的凸起高度依次减小。