[发明专利]掩膜版有效

专利信息
申请号: 202010102990.5 申请日: 2020-02-19
公开(公告)号: CN111270201B 公开(公告)日: 2022-06-17
发明(设计)人: 潘旭;张帅;古春笑;杨斌;杨硕 申请(专利权)人: 昆山国显光电有限公司
主分类号: C23C14/04 分类号: C23C14/04;C23C14/12;C23C14/24;H01L51/56
代理公司: 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 代理人: 范坤坤
地址: 215300 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 掩膜版
【说明书】:

发明公开了一种掩膜版。该掩膜版包括掩膜版框架、至少一条掩膜条和至少一个第一弹性连接部;至少一个第一弹性连接部固定于掩膜版框架上,并与一掩膜条第一方向的一个端部连接,弹性连接部对掩膜条具有第一拉力,第一拉力对掩膜条产生的形变在掩膜条的弹性形变范围内,且第一拉力的方向为掩膜条第一方向的端部指向第一弹性连接部的方向。掩膜条第一方向的一个端部通过第一弹性连接部固定于掩膜版框架上,使第一弹性连接部对掩膜条具有第一拉力,从而可以降低掩膜条因重力引起的掩膜条的下垂,提高蒸镀时掩膜版与待蒸镀基板的贴合度,进而提高了掩膜版的蒸镀精度,降低了待蒸镀基板蒸镀后的像素错位及混色等风险。

技术领域

本发明实施例涉及显示技术领域,尤其涉及一种掩膜版。

背景技术

在有机发光二极管(Organic Light Emitting Diode,OLED)显示面板的制作过程中,蒸镀用掩膜版可以控制有机材料沉积在基板上的位置。当掩膜版存在下垂等情况时,掩膜版与基板的贴合不好,增加了蒸镀后像素错位及混色等风险。

发明内容

本发明提供一种掩膜版,以减少掩膜版的下垂量,提高掩膜版的蒸镀精度。

第一方面,本发明实施例提供了一种掩膜版,包括掩膜版框架、至少一条掩膜条和至少一个第一弹性连接部;

至少一个所述第一弹性连接部固定于所述掩膜版框架上,并与一所述掩膜条第一方向的一个端部连接,所述第一弹性连接部对所述掩膜条具有第一拉力,所述第一拉力对所述掩膜条产生的形变在所述掩膜条的弹性形变范围内,且所述第一拉力的方向为所述掩膜条第一方向的端部指向所述第一弹性连接部的方向,其中,所述第一方向为所述掩膜条的长度方向。

可选地,所述第一弹性连接部的数量与所述掩膜条的数量相等,每一所述掩膜条第一方向的一个端部与一个所述第一弹性连接部连接。

可选地,沿所述第一方向,所述掩膜条包括相对设置的第一端部和第二端部,所述掩膜版框架包括相对设置的第一边框和第二边框;所述第一弹性连接部包括固定部和弹性部,所述第一弹性连接部的固定部固定于所述第一边框上,所述第一弹性连接部的弹性部与对应的所述掩膜条的第一端部固定连接,所述掩膜条的第二端部与所述第二边框固定连接。

可选地,所述掩膜条为至少两条,所述掩膜版还包括至少一条支撑条和至少一个第二弹性连接部,所述支撑条固定于所述掩膜版框架上,并位于相邻所述掩膜条之间,所述支撑条与所述掩膜条平行设置;

沿第二方向,所述掩膜条包括相对设置的第三端部和第四端部;每一所述掩膜条的第三端部与一个所述第二弹性连接部连接,所述第二弹性连接部对所述掩膜条具有第二拉力,所述第二拉力对所述掩膜条产生的形变在所述掩膜条的弹性形变范围内,且所述第二拉力的方向为所述掩膜条第二方向的端部指向所述第二弹性连接部的方向;其中,所述第二方向为所述掩膜条的宽度方向。

可选地,沿所述第二方向,所述掩膜版框架包括相对设置的第三边框和第四边框;所述第二弹性连接部包括固定部和弹性部,所述第二弹性连接部的固定部固定于所述第三边框或所述支撑条上,所述第二弹性连接部的弹性部与所述掩膜条的第三端部固定连接;所述掩膜条的第四端部与所述第四边框或所述支撑条固定连接。

可选地,所述第一弹性连接部和/或所述第二弹性连接部为笔形涡卷弹簧;所述弹性连接部包括固定部和弹性部,所述固定部为所述笔形涡卷弹簧的笔形外壳,所述弹性部为所述笔形涡卷弹簧的卷簧。

可选地,所述笔形涡卷弹簧的卷簧材料为金属;所述笔形涡卷弹簧的卷簧的宽度与连接的所述掩膜条的端部宽度相等。

可选地,所述掩膜条包括蒸镀区和遮挡区;所述遮挡区设置有多条应力分散条,所述应力分散条的延伸方向与所述掩膜条的长度方向相交。

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