[发明专利]布线结构,封装结构及其制造方法在审
申请号: | 202010105837.8 | 申请日: | 2020-02-20 |
公开(公告)号: | CN111627878A | 公开(公告)日: | 2020-09-04 |
发明(设计)人: | 黄文宏;施孟铠;赖威宏;孙玮筑 | 申请(专利权)人: | 日月光半导体制造股份有限公司 |
主分类号: | H01L23/48 | 分类号: | H01L23/48;H01L21/768;H01L21/60;H01L23/485 |
代理公司: | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人: | 蕭輔寬 |
地址: | 中国台湾高雄市楠梓*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 布线 结构 封装 及其 制造 方法 | ||
1.一种布线结构,其包括:
上部导电结构,其包含至少一个上部介电层和与所述上部介电层接触的至少一个上部电路层;
下部导电结构,其包含至少一个下部介电层和与所述下部介电层接触的至少一个下部电路层;
中间层,其设置在所述上部导电结构与所述下部导电结构之间,且将所述上部导电结构和所述下部导电结构接合在一起;以及
至少一个穿导孔,其延伸穿过所述上部导电结构、所述中间层和所述下部导电结构。
2.根据权利要求1所述的布线结构,其中所述上部导电结构包含包含所述上部介电层的多个上部介电层、包含所述上部电路层的多个上部电路层,和设置在所述上部电路层中的两个邻近者之间以电连接所述上部电路层中的所述两个邻近者的至少一个内部导孔,所述内部导孔向上逐渐变窄,且所述穿导孔具有一致的宽度。
3.根据权利要求1所述的布线结构,其中所述上部导电结构的所述上部介电层的材料和所述中间层的材料是透明的。
4.根据权利要求1所述的布线结构,其中所述下部导电结构包含包含所述下部介电层的多个堆叠的下部介电层,每一个所述下部介电层界定具有内表面的通孔,所述中间层界定具有内表面的通孔,所述上部导电结构包含包含所述上部介电层的多个堆叠的上部介电层,每一个所述上部介电层界定具有内表面的通孔,且所述中间层的所述通孔的所述内表面、所述下部介电层的所述通孔的所述内表面和所述上部介电层的所述通孔的所述内表面彼此共平面。
5.根据权利要求1所述的布线结构,其中所述下部导电结构包含包含所述下部介电层的多个堆叠的下部介电层,每一个所述下部介电层界定通孔,所述中间层界定通孔,所述上部导电结构包含包含所述上部介电层的多个堆叠的上部介电层,每一个所述上部介电层界定通孔,且所述中间层的所述通孔、所述下部介电层的所述通孔和所述上部介电层的所述通孔共同界定用于容纳所述穿导孔的单个通孔。
6.根据权利要求1所述的布线结构,其中所述下部介电层界定具有第一尺寸的第一通孔,所述中间层界定具有第二尺寸的第二通孔,所述上部介电层界定具有第三尺寸的第三通孔,所述穿导孔延伸穿过所述第一通孔、所述第二通孔和所述第三通孔,且所述第一尺寸、所述第二尺寸和所述第三尺寸实质上彼此相等。
7.根据权利要求1所述的布线结构,其中所述穿导孔是整体结构。
8.根据权利要求1所述的布线结构,其中所述穿导孔包含导电层和绝缘材料,所述导电层界定中心孔,且所述绝缘材料填充所述导电层的所述中心孔。
9.根据权利要求1所述的布线结构,其中所述穿导孔的周围表面是连续表面。
10.根据权利要求1所述的布线结构,其中所述中间层具有顶面和底面,且所述中间层的整个所述顶面和整个所述底面是实质上平坦的。
11.根据权利要求1所述的布线结构,其中所述上部导电结构包含包含所述上部介电层的多个上部介电层,所述上部导电结构的所述上部介电层中的两个邻近者之间的接合力大于所述上部导电结构的所述上部介电层中的最底部上部介电层与所述中间层之间的接合力。
12.根据权利要求1所述的布线结构,其中所述上部导电结构包含包含所述上部介电层的多个上部介电层,所述上部导电结构的所述上部介电层中的两个邻近者之间的边界的表面粗糙度大于所述上部导电结构的所述上部介电层中的最底部上部介电层与所述中间层之间的边界的表面粗糙度。
13.根据权利要求1所述的布线结构,其中所述下部导电结构的所述下部电路层的线距大于所述上部导电结构的所述上部电路层的线距。
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