[发明专利]一种多电子束中心送丝的电子束加工系统

权利要求书

1.一种多电子束中心送丝的电子束加工系统，其特征在于：包括：

电子枪：用于产生、加速及会聚高能量密度电子束流的装置，它发射出具有一定能量、一定束流以及速度和角度的电子束；

旋转电机：用于改变电子枪的角度，从而改变电子束的照射在工件上的角度，用于调节工作状态；

储丝盒：用于储存丝料的盒子，为系统提供丝料；

送丝装置：用于主动运输丝料，使丝料能够均匀的与工件接触，且能够将丝料进行简单处理，使丝料符合加工流程；

丝料：用于提供粘接材料，丝料的材质能够根据加工物品的需求进行改变；

工件：用于加工的物品，与丝料融合形成新的产品；

真空系统；用于保证电子枪内的真空度，用于将工作室内的蒸汽抽出。

2.根据权利要求1所述的一种多电子束中心送丝的电子束加工系统，其特征在于：所述电子枪的顶端开设有灯丝，所述灯丝的底端连接有阴极，所述阴极的正下方设置有阳极，所述阴极的一侧与真空系统集接通，所述阳极的正下方设置有电磁透镜，所述电磁透镜的正下方设置有偏转线圈，所述偏转线圈的底端连接有电子枪枪口。

3.根据权利要求2所述的一种多电子束中心送丝的电子束加工系统，其特征在于：所述灯丝的材质由钨丝构成，所述阴极与阳极的外侧接通有高电压，所述高电压的压强为五十千伏至一百五十千伏，所述电磁透镜共设置有两组，所述偏转线圈共设置有两组，每组偏转线圈互相垂直。

4.根据权利要求1所述的一种多电子束中心送丝的电子束加工系统，其特征在于：所述送料装置的顶端开设有送丝管，所述丝料穿过储丝盒进入到送丝管中，所述送丝管的一侧安装有传送电机，传送电机贯穿送丝管并延伸至送丝管的内部连接有传送轮，所述送丝管的内部位于传送轮的正下方开设有闸刀，所述送丝管的底端开设有送丝嘴，所述送丝嘴位于工件的上方，所述送丝嘴的外侧设置有冷却管。

5.根据权利要求4所述的一种多电子束中心送丝的电子束加工系统，其特征在于：所述传送电机为变频电机，所述传送轮与丝料紧密贴合，所述闸刀的外侧连接有液压装置，所述闸刀通过液压装置推动切断丝料，所述冷却管的与外界的水泵接通，所述冷却管环绕送丝嘴设置。

6.根据权利要求1所述的一种多电子束中心送丝的电子束加工系统，其特征在于：所述真空系统的内部开设有扩散泵，所述扩散泵内部设置有油箱，所述油箱的底端安装有加热器，所述油箱的顶端安装有真空抽气口，所述扩散泵的一侧设置冷凝管，所述冷却管的一侧通过管道连接有机械泵，所述机械泵的一侧开设有排气口，所述排气口的外侧安装有沉积膜。

7.根据权利要求6所述的一种多电子束中心送丝的电子束加工系统，其特征在于：所述加热器的一端与外界的蒸汽装置接通，所述冷凝管的外侧设置有多组冷却水管，所述冷凝管的底端开设有管道，所述冷凝管通过管道与扩散泵的底端接通。

8.根据权利要求6所述的一种多电子束中心送丝的电子束加工系统，其特征在于：所述沉积膜的顶端开设有薄膜，所述薄膜的底端连接有衬底，所述衬底的顶端涂抹有光刻胶，所述薄膜通过光刻胶与衬底连接，所述薄膜的外壁开设有多组凹槽。

9.根据权利要求1所述的一种多电子束中心送丝的电子束加工系统，其特征在于：所述电子束照射在丝料与工件外侧，所述工件的底端设置有工作平台，所述工作平台的内部设置有冷却水管。