[发明专利]运用在人工关节表面的TiN/DLC多层复合薄膜的制备方法有效
| 申请号： | 202010106812.X | 申请日： | 2020-02-20 |
| 公开（公告）号： | CN113278919B | 公开（公告）日： | 2022-10-21 |
| 发明（设计）人： | 江晓红;周兵兵;刘昱玮 | 申请（专利权）人： | 南京理工大学 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/16;C23C14/32;C23C14/02;A61L27/04;A61L27/30;A61L27/50 |
| 代理公司： | 南京理工大学专利中心 32203 | 代理人： | 刘海霞 |
| 地址： | 210094 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 运用 人工关节 表面 tin dlc 多层 复合 薄膜 制备 方法 | ||
1.运用在人工关节表面的TiN/DLC多层复合薄膜的制备方法，其特征在于，具体步骤如下：
步骤1，将洁净的钴铬钼合金基底放入真空室，抽真空，然后通入氩气至气压稳定在8～9×10-2Pa，设置阴极电流为8～10A，阳极电压为90～120V，进行氩离子刻蚀，保持10～15min；
步骤2，采用磁过滤直流阴极弧技术，先在步骤1得到的钴铬钼合金基底表面沉积金属钛过渡层，工作电流为60±2A，沉积时间为1min，厚度为10±2nm，然后通入氮气，氮气分压为1.2×10-1Pa，沉积时间为60min，在金属钛过渡层表面沉积TiN层，再沉积一层金属钛过渡层，沉积时间为1min，厚度为10±2nm；
步骤3，采用脉冲阴极等离子弧技术，沉积外层DLC多层薄膜，先在脉冲频率3Hz和脉冲数1000下沉积一层DLC薄膜，再在脉冲频率10Hz与脉冲数3000下沉积一层DLC薄膜，完成一个单元层DLC薄膜的制备，制备1～4组单元层的DLC多层薄膜，最终制得TiN/DLC多层复合薄膜。
2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤1中，所述的钴铬钼合金基底经过预处理除去表面灰尘以及油污。
3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤1中，抽真空至7～8×10-3Pa。
4.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤3中，DLC多层薄膜的单元层组数为2～3组。
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