[发明专利]一种大尺寸石英管的退火方法在审
| 申请号： | 202010107874.2 | 申请日： | 2020-02-21 |
| 公开（公告）号： | CN111302610A | 公开（公告）日： | 2020-06-19 |
| 发明（设计）人： | 畅家盛 | 申请（专利权）人： | 连云港国伦石英制品有限公司 |
| 主分类号： | C03B25/00 | 分类号： | C03B25/00 |
| 代理公司： | 连云港联创专利代理事务所(特殊普通合伙) 32330 | 代理人： | 谷金颖 |
| 地址： | 222000 江苏省连云*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 尺寸 石英管 退火 方法 | ||
1.一种大尺寸石英管的退火方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤一，升温阶段：将石英管以10～15℃/min的速度升温至1150-1250℃；步骤二，保温阶段：1150-1250℃保温5-7h；步骤三，慢冷阶段：降温至850-950℃保温；步骤四，升温阶段：石英管升温至1150-1250℃保温；步骤五，降温阶段：先降温至850-950℃，再降温至550-650℃，继续降温至150-250℃开启炉门，将石英管置于空气中完全冷却至室温。
2.根据权利要求1所述的一种大尺寸石英管的退火方法，其特征在于，所述步骤三：慢冷阶段，然后以4-6℃/h的速度降温至850-950℃，保温0.5-1.5h。
3.根据权利要求2所述的一种大尺寸石英管的退火方法，其特征在于，所述步骤四：升温阶段，以10～15℃/min的速度升温至1150-1250℃，保温3.5-4.5h。
4.根据权利要求3所述的一种大尺寸石英管的退火方法，其特征在于，所述步骤五：降温阶段，以4-6℃/h的速度降温850-950℃，再以28-32℃/h的速度降温至550-650℃，继续以58-62℃/h的速度降温至150-250℃，开启炉门，将石英管置于空气中完全冷却至室温。
5.根据权利要求4所述的一种大尺寸石英管的退火方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤一：升温阶段：将石英管以15℃/min的速度升温至1150℃；步骤二：保温阶段：在1150℃保温6h；步骤三：慢冷阶段：然后以5℃/h的速度降温至850℃，保温1h；步骤四：升温阶段：再以15℃/min的速度升温至1150℃，保温4h；步骤五：降温阶段：然后以5℃/h的速度降温至850℃，再以30℃/h的速度降温至500℃，继续以60℃/h的速度降温至200℃，开启炉门，将石英管置于空气中完全冷却至室温。
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