[发明专利]沉积源蒸发设备

权利要求书

1.一种沉积源蒸发设备，所述沉积源蒸发设备包括：

第一坩埚组，用于容纳沉积源；

喷射单元，位于所述第一坩埚组上；

加热器，位于所述第一坩埚组中用于加热所述第一坩埚组以通过所述喷射单元蒸发所述沉积源；以及

防热辐射板，围绕所述喷射单元用于阻挡所述第一坩埚组的侧面的热辐射，

其中，所述第一坩埚组和所述防热辐射板中的至少一个包括碳纤维复合材料。

2.根据权利要求1所述的沉积源蒸发设备，其中，所述碳纤维复合材料包括碳纤维颗粒和第一碳基树脂。

3.根据权利要求2所述的沉积源蒸发设备，其中，所述碳纤维颗粒包括碳纤维碎屑和碳纤维粉末中的至少一种。

4.根据权利要求2所述的沉积源蒸发设备，其中，所述碳纤维复合材料的内部间隙填充有第二碳基树脂。

5.根据权利要求1所述的沉积源蒸发设备，其中，所述防热辐射板是单个主体，并且其中所述单个主体的长度比所述沉积源蒸发设备的长度的一半大。

6.根据权利要求1所述的沉积源蒸发设备，

其中，所述第一坩埚组包括：内坩埚，用于容纳所述沉积源；外坩埚，容纳所述内坩埚并构造为将热量从所述加热器传递到所述内坩埚；壳体，容纳所述外坩埚和所述加热器；冷却套，容纳所述壳体；以及冷却剂循环单元，位于所述冷却套上，并且

其中，所述内坩埚、所述外坩埚和所述壳体中的至少一个包括所述碳纤维复合材料。

7.根据权利要求6所述的沉积源蒸发设备，其中，所述内坩埚是具有单个容纳空间的单个主体，并且其中，所述单个容纳空间的长度比所述沉积源蒸发设备的长度的一半大。

8.根据权利要求6所述的沉积源蒸发设备，其中，所述第一坩埚组还包括位于所述壳体的内壁上的热辐射板，并且其中，所述热辐射板包括所述碳纤维复合材料。

9.根据权利要求8所述的沉积源蒸发设备，其中，所述壳体、所述热辐射板和所述外坩埚是由相同材料形成的一体的主体。

10.根据权利要求1所述的沉积源蒸发设备，所述沉积源蒸发设备还包括：

第一多个喷射单元，位于所述第一坩埚组上并包括所述喷射单元；

第二坩埚组；以及

第二多个喷射单元，位于所述第二坩埚组上并是所述第一多个喷射单元的镜像。