[发明专利]沉积源蒸发设备

说明书

公开了一种沉积源蒸发设备。该沉积源蒸发设备包括：坩埚组，用于容纳沉积源；喷射单元，位于坩埚组上；加热器，位于坩埚组中用于加热坩埚组以通过喷射单元蒸发沉积源；以及防热辐射板，围绕喷射单元以阻挡喷射单元的侧面的热辐射。坩埚单元和防热辐射板中的至少一个包括碳纤维复合材料。

本申请要求于2019年2月27日在韩国知识产权局提交的第10-2019-0023286号韩国专利申请的优先权和权益；该韩国专利申请的公开内容通过引用全部包含于此。

技术领域

技术领域涉及一种用于在沉积操作中蒸发沉积源的设备。

背景技术

在制造薄膜(诸如有机发光显示装置的薄膜)的工艺中，可以执行沉积操作。在沉积操作中，蒸发沉积源以使材料能够附着到基底表面。可以将掩模放置在基底上，并且材料的蒸气可以穿过掩模的一个或更多个开口以在基底上形成期望图案的薄膜。

发明内容

根据实施例，在沉积源的蒸发期间温度可以在1100摄氏度至1300摄氏度的范围内，并且蒸发设备可以在高温下可靠地且连续地执行蒸发，以用于产生令人满意的薄膜量。有利地，可以优化沉积质量，并且可以优化薄膜的生产效率。

实施例可以涉及一种沉积源蒸发设备。该设备可以能够长时间在高温下执行沉积操作。

根据一个或更多个实施例，沉积源蒸发设备包括：坩埚单元，容纳沉积源并在一侧上具有喷射单元；加热器，加热坩埚单元以通过喷射单元蒸发沉积源；以及防热辐射板，抑制通过喷射单元的侧面的热辐射，其中，坩埚单元和防热辐射板中的任意一个的材料包括碳纤维复合材料。

碳纤维复合材料可以包括通过将碳纤维颗粒与第一碳基树脂混合的产物压缩并硬化获得的材料。

碳纤维颗粒可以包括碳纤维的切碎的碎屑或磨碎的粉末中的任意一种。

碳纤维复合材料的内部间隙可以通过浸渍有第二碳基树脂然后被硬化来填充有第二碳基树脂。

防热辐射板可以是单个主体。

坩埚单元可以包括容纳沉积源的内坩埚、容纳内坩埚并被加热器加热的外坩埚、容纳外坩埚和加热器的壳体以及容纳壳体并具有冷却剂循环单元的冷却套，内坩埚、外坩埚和壳体的材料包括碳纤维复合材料。

内坩埚可以是具有单个容纳空间的单个主体。

壳体的内壁可以安装有包括碳纤维复合材料的热辐射板。

壳体、热辐射板和外坩埚可以是一体的主体。

沉积源蒸发设备可以包括其中喷射单元对称地布置的一对坩埚单元，以及分别安装在坩埚单元中的一对加热器和一对防热辐射板。

实施例可以涉及一种沉积源蒸发设备。该设备可以包括以下元件：第一坩埚组，用于容纳沉积源；喷射单元，位于第一坩埚组上；加热器，位于第一坩埚组中用于加热第一坩埚组以通过喷射单元蒸发沉积源；以及防热辐射板，围绕喷射单元用于抑制/阻挡第一坩埚组的侧面的热辐射。第一坩埚组和防热辐射板中的至少一个包括碳纤维复合材料。

碳纤维复合材料可以包括碳纤维颗粒和第一碳基树脂。

碳纤维颗粒可以包括碳纤维碎屑和碳纤维粉末中的至少一种。

碳纤维复合材料的内部间隙可以填充有第二碳基树脂。

防热辐射板可以是单个主体。单个主体的长度可以比设备的长度的一半大。

第一坩埚组可以包括：内坩埚，用于容纳沉积源；外坩埚，容纳内坩埚并构造为将热量从加热器传递到内坩埚；壳体，容纳外坩埚和加热器；冷却套，容纳壳体；以及冷却剂循环单元，位于冷却套上。内坩埚、外坩埚和壳体中的至少一个可以包括碳纤维复合材料。