[发明专利]载置台及基板处理装置在审
| 申请号： | 202010112504.8 | 申请日： | 2020-02-24 |
| 公开（公告）号： | CN111613510A | 公开（公告）日： | 2020-09-01 |
| 发明（设计）人： | 小岩真悟 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/683;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 吕琳;朴秀玉 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 载置台 处理 装置 | ||
1.一种载置台，包括：
基台；
基板载置部，设置在所述基台的上表面上；
环形部件载置部，设置在所述基台的上表面上且设置在所述基板载置部的外侧；
第一接合层，将所述基台与所述基板载置部接合；
第二接合层，将所述基台与所述环形部件载置部接合；
环形部件，被放置在所述环形部件载置部上；以及
密封部件，对所述第一接合层和所述第二接合层进行保护。
2.根据权利要求1所述的载置台，其中，
所述密封部件对从所述基板载置部与所述环形部件之间的间隙连接到所述第一接合层和所述第二接合层的路径进行密封。
3.根据权利要求1或2所述的载置台，其中，
所述环形部件被形成为从内侧覆盖所述环形部件载置部。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的载置台，其中，
所述密封部件是弹性体，
通过所述密封部件的恢复力，对所述环形部件作用径向分量为向外、上下方向分量为向下的力。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的载置台，其中，
所述环形部件载置部是用于对所述环形部件进行保持的静电卡盘。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的载置台，其中，
所述环状部件具有用于使所述基板载置部与所述环形部件之间的间隙变窄的突出部。
7.根据权利要求1至4中任一项所述的载置台，其中，
所述密封部件至少与所述基板载置部和所述环形部件抵接。
8.根据权利要求1或2所述的载置台，其中，
所述密封部件至少与所述基板载置部和所述环形部件载置部抵接。
9.根据权利要求1至8中任一项所述的载置台，其中，
所述载置台包括用于向所述环形部件载置部与所述环形部件之间供应传热气体的传热气体供应通道。
10.一种基板处理装置，包括根据权利要求1至9中任一项所述的载置台。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东京毅力科创株式会社，未经东京毅力科创株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202010112504.8/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
