[发明专利]检查装置及检查方法在审

专利信息
申请号: 202010115443.0 申请日: 2020-02-25
公开(公告)号: CN111693548A 公开(公告)日: 2020-09-22
发明(设计)人: 盐见顺一 申请(专利权)人: 株式会社斯库林集团
主分类号: G01N21/956 分类号: G01N21/956
代理公司: 隆天知识产权代理有限公司 72003 代理人: 金辉;崔炳哲
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 检查 装置 方法
【权利要求书】:

1.一种检查装置,进行印刷基板的缺陷检查,其中,

所述检查装置具有:

准备部,基于所述印刷基板的设计数据准备检查用图像;

搬运机构,搬运所述印刷基板;

拍摄部,拍摄由所述搬运机构搬运的所述印刷基板,并获取所述印刷基板的图像;

检查处理部,通过比较由所述拍摄部获取的拍摄图像和所述检查用图像来检测所述印刷基板的缺陷,

在所述印刷基板是除部分特定区域外呈180°旋转对称的镜像基板的情况下,所述准备部指定所述特定区域,

在所述特定区域检测到缺陷的情况下,所述检查处理部进行与其他区域中的缺陷的检测不同的输出。

2.根据权利要求1所述的检查装置,其中,

所述检查处理部根据检查结果,将所述印刷基板分类至:

未检测到缺陷的第一组;

检测的缺陷在预定允许范围内的第二组;和

检测的缺陷超过所述允许范围的第三组,

当在所述特定区域检测到缺陷时,必定将所述印刷基板分类至所述第三组。

3.根据权利要求1或2所述的检查装置,其中,

所述准备部根据操作人员的指示输入来指定所述特定区域。

4.根据权利要求1或2所述的检查装置,其中,

所述准备部根据所述设计数据或者所述检查用图像,自动提取并指定所述特定区域。

5.根据权利要求4所述的检查装置,其中,

所述镜像基板具有在180°旋转后除所述特定区域外一致的至少两个检查区域,

所述准备部使所述检查用图像所含的所述两个检查区域中的任一个进行180°旋转,比较所述两个检查区域,将彼此不同的部分指定为所述特定区域。

6.根据权利要求1至5任一项所记载的检查装置,其中,

所述检查处理部对所述印刷基板的布线图案及电子部件的缺陷、与在所述印刷基板的上表面上印刷的丝网图案的缺陷进行区分并识别,

在所述特定区域检测到所述丝网图案的缺陷的情况下,进行与在其他区域检测到所述丝网图案的缺陷的情况不同的输出。

7.根据权利要求1至6任一项所记载的检查装置,其中,

在所述特定区域检测到缺陷的情况下,所述检查处理部进行报警操作。

8.根据权利要求1至7任一项所记载的检查装置,其中,

还具有控制所述搬运机构的动作的控制部,

当在所述特定区域检测到缺陷的所述印刷基板连续规定枚数时,所述控制部停止所述搬运机构的动作。

9.一种检查方法,进行印刷基板的缺陷检查,其中,

所述检查方法包括:

工序(a),基于所述印刷基板的设计数据准备检查用图像;工序(b),搬运所述印刷基板,并拍摄所述印刷基板来获取所述印刷基板的图像;

工序(c),通过比较由所述工序(b)获取的拍摄图像和所述检查用图像,检测所述印刷基板的缺陷,

在所述工序(a)中,在所述印刷基板是除部分特定区域外呈180°旋转对称的镜像基板的情况下,指定所述特定区域,

在所述工序(c)中,在所述特定区域检测到缺陷的情况下,进行与其他区域中的缺陷的检测不同的输出。

10.根据权利要求9所述的检查方法,其中,

在所述工序(c)中,根据检查结果,将所述印刷基板分类至:

未检测到缺陷的第一组;

检测的缺陷在预定允许范围内的第二组;和

检测的缺陷超过所述允许范围的第三组,

当在所述特定区域检测到缺陷时,必定将所述印刷基板分类至所述第三组。

11.根据权利要求9或10所述的检查方法,其中,

在所述工序(a)中,操作人员指定所述特定区域。

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