[发明专利]检查装置及检查方法在审
申请号: | 202010115443.0 | 申请日: | 2020-02-25 |
公开(公告)号: | CN111693548A | 公开(公告)日: | 2020-09-22 |
发明(设计)人: | 盐见顺一 | 申请(专利权)人: | 株式会社斯库林集团 |
主分类号: | G01N21/956 | 分类号: | G01N21/956 |
代理公司: | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人: | 金辉;崔炳哲 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 检查 装置 方法 | ||
本发明提供一种在印刷基板的检查装置中,在被检查的印刷基板是镜像基板的情况下,能够不依赖基板上设置的贯通孔来告知操作人员印刷基板的方向有误的技术。该检查装置(1)具有控制部(10)、拍摄部(32)、(52)及检查处理部(70)。控制部基于印刷基板(9)的设计数据准备检查用图像(D1)、(D2)。拍摄部获取印刷基板的拍摄图像(P1)、(P2)。检查处理部通过对检查用图像和拍摄图像进行比较来检测印刷基板的缺陷。此时,在非旋转对称的特定区域检测到缺陷的情况下,检查处理部进行与在其他区域中的缺陷检测不同的输出。由此,能够告知操作人员镜像基板的方向有误。
技术领域
本发明涉及一种检查印刷基板的缺陷的检查装置及检查方法。
背景技术
以往,在印刷基板的制造工序中,在布线图案的形成或电子部件的安装结束之后,使用检查印刷基板的缺陷的检查装置。这种检查装置例如以水平姿势搬运印刷基板并拍摄印刷基板的上表面,然后,对比得到的拍摄图像与基于设计数据的检查用图像,将两个图像的差分大的位置检测为缺陷。
检查基板的缺陷的现有检查装置例如记载于专利文献1中。
专利文献1:特开2000-187053号公报
在印刷基板的检查工序中,存在检查所谓“镜像基板”的情况,“镜像基板”是除部分特定区域外180°旋转对称的基板。因为镜像基板的大部分是180°旋转对称的,所以,将其布置于检查装置时,会出现将印刷基板的方向误置180°的情况。另外,若为镜像基板,在将印刷基板的方向误置180°的状态下,即使进行检查,也会判断特定区域外的大部分为正常。因此,可能会在未注意到方向误置180°的情况下通过检查工序。
关于此点,专利文献1记载了一种技术,其通过使基板的贯通孔与导销相配合,来判断供给至检查装置的基板的方向是否正确。但是,专利文献1的方法不能适用镜像基板含贯通孔180°旋转对称的情况。
本发明是鉴于这样的情况而提出的,其目的在于提供一种技术,该技术在印刷基板的检查装置中,在被检查的印刷基板是镜像基板的情况下,能够不依赖基板上设置的贯通孔来告知操作人员印刷基板的方向有误。
发明内容
本申请的第一发明是一种进行印刷基板的缺陷检查的检查装置,所述检查装置具有:准备部,基于所述印刷基板的设计数据准备检查用图像;搬运机构,搬运所述印刷基板;拍摄部,拍摄由所述搬运机构搬运的所述印刷基板,并获取所述印刷基板的图像;检查处理部,通过比较由所述拍摄部获取的拍摄图像和所述检查用图像来检测所述印刷基板的缺陷。在所述印刷基板是除部分特定区域外呈180°旋转对称的镜像基板的情况下,所述准备部指定所述特定区域,在所述特定区域检测到缺陷的情况下,所述检查处理部进行与其他区域中的缺陷的检测不同的输出。
本申请的第二发明是第一发明的检查装置,所述检查处理部根据检查结果,将所述印刷基板分类至:未检测到缺陷的第一组;检测的缺陷在预定允许范围内的第二组;和检测的缺陷超过所述允许范围的第三组。当在所述特定区域检测到缺陷时,必定将所述印刷基板分类于所述第三组。
本申请的第三发明是第一发明或者第二发明的检查装置,所述准备部根据操作人员的指示输入来指定所述特定区域。
本申请的第四发明是第一发明或者第二发明的检查装置,所述准备部根据所述设计数据或者所述检查用图像,自动提取并指定所述特定区域。
本申请的第五发明是第四发明的检查装置,所述镜像基板具有在180°旋转后除所述特定区域外一致的至少两个检查区域,所述准备部使所述检查用图像所含的所述两个检查区域中的任一个进行180°旋转,比较所述两个检查区域,将彼此不同的部分指定为所述特定区域。
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