[发明专利]研削装置及研削方法

权利要求书

1.一种研削装置，其特征在于包括：工作台，保持衬底；

磨石驱动部，可在保持磨石的状态下旋转；

位置调整部，调整所述磨石驱动部与所述工作台的相对位置；

修整磨石保持部，保持修整所述磨石的修整磨石；以及

修整磨石驱动部，驱动所述修整磨石保持部；且

所述磨石包括：具有第1研削面及第2研削面的阶差，所述磨石驱动部的旋转中心与所述第1研削面的第1距离和所述旋转中心与所述第2研削面的第2距离不同，

所述位置调整部将所述相对位置从使所述第1研削面与所述衬底的端面接触的第1状态调整为使所述第2研削面与所述端面接触的第2状态，

所述修整磨石驱动部以在所述第2研削面与所述端面相接时，所述第1研削面与所述修整磨石相接的方式控制所述修整磨石保持部。

2.根据权利要求1所述的研削装置，其特征在于还包括：

测量仪，获取与修整后的所述第1研削面或第2研削面的形状相关的数据。

3.根据权利要求2所述的研削装置，其特征在于还包括：控制部，基于所述修整磨石的驱动所需的驱动电流的变化，检测可否结束藉由所述修整磨石的修整。

4.根据权利要求1所述的研削装置，其特征在于：所述第2距离大于所述第1距离。

5.一种研削方法，其特征在于：利用旋转的磨石研削衬底的端面，所述磨石包括具有第1研削面及第2研削面的阶差，且所述旋转的中心与所述第1研削面的距离和所述旋转的中心与所述第2研削面的距离不同；所述研削方法是：

使所述第1研削面与所述端面接触，

在使所述第1研削面与所述端面接触后，使所述第2研削面与所述端面接触，

在利用所述第1研削面研削所述端面之后，利用修整磨石修整所述第1研削面，

在利用所述第2研削面研削所述端面之后，利用所述修整磨石修整所述第2研削面，

在利用所述第2研削面研削所述端面时，利用所述修整磨石修整所述第1研削面。

6.根据权利要求5所述的研削方法，其特征在于：

获取与修整后的所述第1研削面的形状相关的数据，

获取与修整后的所述第2研削面的形状相关的数据。

7.根据权利要求6所述的研削方法，其特征在于：基于所述修整磨石的驱动所需的驱动电流的变化，检测可否结束藉由所述修整磨石的修整的终点。