[发明专利]具风险评估的取样参数搜寻系统、方法与图案化用户接口

权利要求书

1.一种具风险评估的取样参数搜寻系统，其中，该取样参数搜寻系统用以获得薄膜制程的目标制程参数或化工制程的目标操作参数，该取样参数搜寻系统包括：

数据提取单元，用以根据相关于该目标制程参数或该目标操作参数的至少一已操作取样参数，取得至少一目标式输出值及至少一限制式输出值，该至少一已操作取样参数包括射频能量、SiH4数量、NH3数量、化学物添加量、冷却水控制条件及循环回流比中的至少一种；

目标式满足分数计算单元，用以根据该至少一已操作取样参数及该至少一目标式输出值，获得目标式满足分数模型；

限制式满足机率计算单元，用以根据该至少一已操作取样参数及该至少一限制式输出值，获得限制式满足机率模型；

取样风险评估单元，用以根据该目标式满足分数模型，取得相关于该目标制程参数或该目标操作参数的推荐取样参数，该推荐取样参数包括该射频能量、该SiH4数量、该NH3数量、该化学物添加量、该冷却水控制条件及该循环回流比中的至少一种；并根据该推荐取样参数及该限制式满足机率模型，评估该推荐取样参数之限制式满足机率；若该推荐取样参数之该限制式满足机率大于或等于第一预定值，则输出该推荐取样参数作为该目标制程参数或该目标操作参数；以及

优化单元，若该推荐取样参数之该限制式满足机率介于该第一预定值及第二预定值之间，则该优化单元调整该推荐取样参数，以优化该限制式满足机率模型，

其中，该限制式输出值是满足该目标制程参数或该目标操作参数对应的限制条件，该限制式满足机率是该推荐取样参数满足未知的限制式的机率。

2.根据权利要求1所述的取样参数搜寻系统，其中该目标式满足分数计算单元是根据该至少一已操作取样参数及该目标式输出值，利用高斯过程及预期改进采集函数来获得该目标式满足分数模型。

3.根据权利要求1所述的取样参数搜寻系统，其中该限制式满足机率计算单元利用支持向量机算法获得该限制式满足机率模型。

4.根据权利要求1所述的取样参数搜寻系统，其中该取样风险评估单元利用离散算法建立该第一预定值及该第二预定值。

5.根据权利要求1所述的取样参数搜寻系统，其中该取样风险评估单元根据容忍度设定值建立该第一预定值及该第二预定值，该第一预定值与该第二预定值的差值为该容忍度设定值。

6.根据权利要求1所述的取样参数搜寻系统，其中该第一预定值大于该第二预定值。

7.根据权利要求1所述的取样参数搜寻系统，其中若该限制式满足机率大于或等于该第一预定值，则该推荐取样参数的取样风险为确定满足；若该限制式满足机率介于该第一预定值及该第二预定值之间，则该推荐取样参数的该取样风险为不确定满足；若该限制式满足机率小于或等于该第二预定值，则该推荐取样参数的该取样风险为确定不满足。

8.根据权利要求1所述的取样参数搜寻系统，其中该优化单元通过主动学习取样算法，选择最接近决策边界的参数点作为该推荐取样参数。