[发明专利]一种制作异质结太阳能电池的刻蚀装置

权利要求书

1.一种制作异质结太阳能电池的刻蚀装置，其特征在于：包括

工艺槽（13），其内盛装化学溶液；

带液滚轮（15），并排安装于所述工艺槽（13）；

槽板花篮（14），置于所述带液滚轮（15）的顶部；

硅片（16），并排插入该槽板花篮（14）。

2.根据权利要求1所述的制作异质结太阳能电池的刻蚀装置，其特征在于：所述化学溶液浸泡带液滚轮（15）的深度为1/3～4/5倍的带液滚轮（15）的外径。

3.根据权利要求1所述的制作异质结太阳能电池的刻蚀装置，其特征在于：所述带液滚轮（15）的圆周表面设有凹和/或凸面。

4.根据权利要求3所述的制作异质结太阳能电池的刻蚀装置，其特征在于：所述凹面为直型槽（151）或螺纹槽（153）。

5.根据权利要求3所述的制作异质结太阳能电池的刻蚀装置，其特征在于：所述直型槽（151）或螺纹槽（153）的槽宽度 0.1～3mm，槽深度0.1～3mm。

6.根据权利要求3所述的制作异质结太阳能电池的刻蚀装置，其特征在于：所述凸面为凸起（152）。

7.根据权利要求3所述的制作异质结太阳能电池的刻蚀装置，其特征在于：所述凹凸面为磨砂面。

8.根据权利要求1-7任一项所述的制作异质结太阳能电池的刻蚀装置，其特征在于：所述化学溶液为浓度为≥3%的碱溶液，所述碱溶液为KOH溶液，溶液温度为35℃～80℃。

9.根据权利要求1-7任一项所述的制作异质结太阳能电池的刻蚀装置，其特征在于：所述硅片（16）沉积透明导电膜层；在沉积透明导电膜层时，将硅片（16）安装于镂空工装（11）；所述镂空工装（11）的中间部位镂空，在镂空的四个角设有角支撑（12），该角支撑（12）用于支撑该硅片（16）的四个角的背面。

10.根据权利要求9所述的制作异质结太阳能电池的刻蚀装置，其特征在于：所述角支撑（12）的宽度为0.5～0.9mm，其长度和硅片圆角弧长相等。