[发明专利]气浮轴承装置、运动台以及光刻设备

权利要求书

1.一种气浮轴承装置，其特征在于，包括：

气浮单元，所述气浮单元包括轴承主体，所述轴承主体具有相对的气浮面和安装面，所述安装面设置有第一调节结构；

支撑单元，所述支撑单元包括支座主体和调节块，所述支座主体具有相对的第一表面、第二表面以及贯穿所述第一表面和所述第二表面的安装孔，所述调节块从所述第一表面一侧可拆卸且高度可调地设置在所述安装孔内，所述调节块朝向所述第二表面的一端设置有第二调节结构；

其中，所述第一调节结构和所述第二调节结构对应于所述安装孔形成球副连接；所述第二调节结构为锥形凹面结构或球面接头中的一种，所述第一调节结构为所述锥形凹面结构或所述球面接头中的另一种；所述球面接头能够从所述安装孔中拆卸。

2.如权利要求1所述的气浮轴承装置，其特征在于，还包括连接单元，所述连接单元包括：

第一限位结构，可拆卸地设置于所述调节块和所述支座主体之间；以及

第二限位结构，可拆卸地设置于所述支座主体和所述轴承主体之间。

3.如权利要求2所述的气浮轴承装置，其特征在于，所述第一限位结构包括设置于所述调节块和所述支座主体上的螺孔以及与所述螺孔匹配的锁紧螺钉。

4.如权利要求2所述的气浮轴承装置，其特征在于，所述第二限位结构包括贯穿所述支座主体上位于所述安装孔周围的第一限位孔、设置在所述第一限位孔内的预紧弹簧以及限位螺钉，所述限位螺钉能够穿过所述预紧弹簧并延伸至所述轴承主体，以连接所述支座主体和所述轴承主体。

5.如权利要求2所述的气浮轴承装置，其特征在于，所述连接单元还包括：

第三限位结构，设置于所述安装孔两侧，用于在所述调节块拆离后，限定所述支撑单元和所述轴承主体之间的相对位置。

6.如权利要求5所述的气浮轴承装置，其特征在于，所述支座主体与所述轴承主体之间设置有第三限位结构，所述第三限位结构包括限位销和与所述限位销匹配的限位槽，所述限位销设置在所述支座主体的第二表面，所述限位槽设置在所述轴承主体的安装面。

7.如权利要求1至6任一项所述的气浮轴承装置，其特征在于，所述气浮轴承装置还包括：

供气单元，所述供气单元包括进气接头和气体通道；其中，所述进气接头与所述调节块朝向所述第一表面的一端连接，所述气体通道经由所述调节块、所述第一调节结构进入所述轴承主体并通向所述气浮面；或者，所述进气接头连接所述轴承主体且所述气体通道通过所述轴承主体通向所述气浮面。

8.如权利要求1至6任一项所述的气浮轴承装置，其特征在于，所述安装孔内表面设置有螺纹，所述调节块通过所述安装孔与所述支座主体螺接。

9.如权利要求1至6任一项所述的气浮轴承装置，其特征在于，所述支撑单元还包括柔性块，所述柔性块设置于所述支座主体的第一表面和/或所述第二表面，以固定所述调节块。

10.如权利要求1所述的气浮轴承装置，其特征在于，所述球面接头包括边缘相接的平面和半球面，与所述球面接头的平面接触的表面设置有第一密封圈，所述球面接头的半球面设置有第二密封圈。

11.一种运动台，其特征在于，所述运动台包括运动台框架以及导轨，所述运动台框架朝向所述导轨的表面设置有如权利要求 1至10中任一项所述的气浮轴承装置，其中，所述气浮面朝向所述导轨。

12.如权利要求11所述的运动台，其特征在于，所述运动台框架对应于所述支座主体的安装孔区域设置有开口，以便于拆卸或安装所述调节块。