[发明专利]气浮轴承装置、运动台以及光刻设备

说明书

本发明提供一种气浮轴承装置、一种运动台和一种光刻设备。气浮轴承装置包括气浮单元和支撑单元，气浮单元中轴承主体的安装面设置有第一调节结构，支撑单元中支座主体设置有贯穿表面的安装孔，调节块从支座主体一侧可拆卸且高度可调地设置在安装孔内，调节块一端设置有第二调节结构。调整调节块在安装孔内的高度可以调整气浮单元，气浮轴承装置的各部件间为可拆卸连接，可以实现快速对气浮单元进行安装、更换以及调试。本发明提供一种运动台，包括运动台框架、导轨和气浮轴承装置。对运动台中的气浮轴承装置进行安装和维护时不需要把运动台框架大幅度提升，可以提升运动台安装和维护的效率。本发明还提供一种光刻设备。

技术领域

本发明涉及半导体设备领域，尤其涉及一种气浮轴承、一种运动台以及一种光刻设备。

背景技术

气浮轴承是采用气体作为润滑剂的滑动轴承，是超精密测量与加工系统的关键部件。相较于传统轴承，气浮轴承具有摩擦力小，振动传递少，以及不会对设备内部环境产生污染等优良特点，常被应用于光刻设备等精密机械中。

由于气浮轴承精密度高，使用条件严格，特别是多个气浮轴承共同使用时需要在安装过程中进行大量的调试，才能使得多个气浮轴承的气浮面共面。以将气浮轴承应用于光刻设备的运动台为例，在气浮轴承安装过程中，常依靠修磨垫片和柔性件来对多个气浮轴承进行共面安装。但是，由于垫片的修磨精度有限，导致柔性件初始受力也不尽相同，影响柔性件的使用寿命，同时这种方式也缺乏对气浮轴承安装位置进行快速调整的能力。

另外，对于气浮轴承在一些对安装空间较为紧凑的运动承载结构的应用，维护气浮轴承时，需要额外的支撑机构将运动承载结构中的运动框架提升一定高度之后，方才能够对气浮轴承进行拆除以及更换的动作，需要的维护工具较多且延长了维护时间。

因此，现有气浮轴承的安装、更换以及调试过程复杂，耗时长，导致维护效率低下，影响设备产率，有必要对其进行改进。

发明内容

为了实现快速对气浮轴承进行安装、更换和调试，提高安装和维护效率，本发明提供一种气浮轴承装置。本发明还提供一种运动台和一种光刻设备。

为实现上述目的，根据本发明的一方面，提供一种气浮轴承装置，包括：

气浮单元，所述气浮单元包括轴承主体，所述轴承主体具有相对的气浮面和安装面，所述安装面设置有第一调节结构；

支撑单元，所述支撑单元包括支座主体和调节块，所述支座主体具有相对的第一表面、第二表面以及贯穿所述第一表面和所述第二表面的安装孔，所述调节块从所述第一表面一侧可拆卸且高度可调地设置在所述安装孔内，所述调节块朝向所述第二表面的一端设置有第二调节结构；

其中，所述第一调节结构和所述第二调节结构对应于所述安装孔形成球副连接。

可选的，所述气浮轴承装置还包括连接单元，所述连接单元包括：

第一限位结构，可拆卸地设置于所述调节块和所述支座主体之间；以及

第二限位结构，可拆卸地设置于所述支座主体和所述轴承主体之间。

可选的，所述第一限位结构包括设置于所述调节块和所述支座主体上的螺孔以及与所述螺孔匹配的锁紧螺钉。

可选的，所述第二限位结构包括贯穿所述支座主体上位于所述安装孔周围的第一限位孔、设置在所述第一限位孔内的预紧弹簧以及限位螺钉，所述限位螺钉能够穿过所述预紧弹簧并延伸至所述轴承主体，以连接所述支座主体和所述轴承主体。

可选的，所述连接单元还包括：

第三限位结构，设置于所述安装孔两侧，用于在所述调节块拆离后，限定所述支撑单元和所述轴承主体之间的相对位置。