[发明专利]一种标定尺及利用该标定尺的位置标定方法有效
| 申请号： | 202010125179.9 | 申请日： | 2020-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN111221224B | 公开（公告）日： | 2023-04-14 |
| 发明（设计）人： | 刘栋;张雷 | 申请（专利权）人： | 苏州源卓光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215026 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 标定 利用 位置 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种直写光刻设备的标定方法，其特征在于：所述直写光刻设备的工件台一端固定一标定尺，所述标定尺的表面涂覆有感光材料，首先，所述工件台移动到所述直写光刻设备的曝光镜头的下方，所述曝光镜头在所述标定尺的感光材料上曝光标记；曝光完毕后，所述工件台带动所述标定尺至所述直写光刻设备对位相机的捕获范围，所述对位相机捕获所述标定尺上的曝光标记，根据所述工件台的曝光位置和捕获位置的位置信息，获得所述曝光镜头与所述对位相机之间的位置关系。
2.根据权利要求1所述的直写光刻设备的标定方法，其特征在于：所述感光材料涂覆于所述标定尺的上表面或者下表面。
3.根据权利要求1所述的直写光刻设备的标定方法，其特征在于：所述标定尺上涂覆的感光材料具有感光后逐渐褪色功能。
4.根据权利要求1所述的直写光刻设备的标定方法，其特征在于：所述感光材料以膜的形式贴附于所述标定尺。
5.根据权利要求1所述的直写光刻设备的标定方法，其特征在于：所述标定尺为矩形条状。
6.根据权利要求1所述的直写光刻设备的标定方法，其特征在于：所述标定尺为透光材料。
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