[发明专利]一种标定尺及利用该标定尺的位置标定方法

说明书

本发明公开了一种标定尺及利用该标定尺的位置标定方法，该标定尺为长条状，固定在工件台一侧，随工件台同步运动，标定尺的表面涂覆有感光材料，通过曝光，可以在感光材料上形成曝光标记，曝光后，随着时间的消逝，标记逐渐变淡，最终消失，由此可以在标定尺上重复进行曝光，实现重复利用。标定尺组装完毕后，固定到工件台一侧。与曝光相关的组件位置关系，可以通过在标定尺上曝光标记，通过测量工件台的位置获得相关位置关系。所采用的的移动机构只涉及工件台的移动机构，避免了多个移动机构之间的误差。

技术领域

本发明涉及光刻技术领域，具体是一种光刻直写设备用标定尺及利用该标定尺的位置标定方法，属于直写式光刻快速曝光技术领域。

背景技术

光刻技术是用于在衬底表面上印刷具有特征的构图。这样的衬底可包括用于制造半导体器件、多种集成电路、平面显示器（例如液晶显示器）、电路板、生物芯片、微机械电子芯片、光电子线路芯片等的基片。直写光刻技术以替代传统的掩膜版或菲林底片等曝光的影像直接转移技术，在半导体及PCB生产领域有着非常重要的作用。要想曝光出期望的图形，则需要精确地控制图形的曝光位置，而这其中，曝光设备相关组件之间的位置至关重要，精确地标定位置是得到期望曝光的前提。

目前的激光直写设备，多以电机模组形式来进行光刻设备相关组件之间的位置关系校准。相对而言，结构比较复杂，成本较高，不利于安装和维护。

发明内容

本发明的目的是提供一种光刻直写设备用标定尺及利用该标定尺的位置标定方法，有效地降低了设备成本，简化了结构和位置关系标定流程，使得安装和维护更加简单，并且去除使用多个移动机构引入的误差。

为了达到上述目的，本发明所采用的技术方案为：一种标定尺，所述标定尺为条状，所述标定尺的表面涂覆有感光材料。

进一步的，所述感光材料涂覆于所述标定尺的上表面或者下表面。

进一步的，所述标定尺上涂覆的感光材料具有感光后逐渐褪色功能。

进一步的，所述感光材料以膜的形式贴附于所述标定尺。

进一步的，所述标定尺为矩形条状。

进一步的，所述标定尺为透光材料。

一种直写光刻设备的标定方法，将上述标定尺固定于所述直写光刻设备的工件台一端，首先，所述工件台移动到所述直写光刻设备的曝光镜头的下方，所述曝光镜头在所述标定尺的感光材料上曝光标记；曝光完毕后，所述工件台带动所述标定尺至所述直写光刻设备对位相机的捕获范围，所述对位相机捕获所述标定尺上的曝光标记，根据所述工件台的曝光位置和捕获位置的位置信息，获得所述曝光镜头与所述对位相机之间的位置关系。

一种直写光刻设备的标定方法，将上述标定尺固定于所述直写光刻设备的工件台一端，移动所述工件台，使所述标定尺位于所述曝光镜头下方，启动所有镜头曝光，所述曝光镜头在所述标定尺上曝光标记，所述曝光镜头在所述标定尺上曝光完毕后，依次移动所述工件台，使得所述标定尺上的曝光标记依次位于同一对位相机的下方，使得同一对位相机对所述标定尺上曝光标记的捕获，通过所述工件台的位置信息得到镜头之间的位置关系。

一种直写光刻设备的标定方法，将上述标定尺固定于所述直写光刻设备的工件台一端，首先所述移动工件台，使得所述标定尺处于要确定位置关系的所述直写光刻设备的曝光镜头下方，启动所述曝光镜头曝光，在标定尺上生成一对图形，依次将图形移动到同一个直写光刻设备的对位相机捕获范围，所述对位相机依次捕获所述曝光标记，通过所述工件台的位置信息得到两个曝光镜头之间的位置关系，重复上述操作，获得全部曝光镜头之间的位置关系。