[发明专利]一种图案化晶圆干燥方法

权利要求书

1.一种图案化晶圆干燥方法，其特征在于，提供一晶圆干燥装置，所述晶圆干燥装置包括干燥腔室、用于放置晶圆的晶圆容纳室以及热氮气供应器，所述干燥腔室被设置为用于保留热氮气，所述干燥腔室包括第一入口和第一出口以及从所述第一入口延伸至第一出口的内壁结构，所述晶圆容纳室设置于干燥腔室内部，且包括若干与晶圆片相匹配的洗涤槽；所述干燥腔室还包括一用于向干燥腔室内部通入异丙醇液体的第三入口以及用于排出异丙醇液体的第三出口，所述第三入口和第三出口均设置在干燥腔室内远离第一入口的一侧；

晶圆干燥方法包括：

步骤S1、将待干燥晶圆片置入晶圆容纳室内并使每个晶圆片均置入对应的洗涤槽内且相互之间间隔以形成晶圆片间隙；

步骤S2、在第三出口关闭状态下打开第三入口向干燥腔室内部通入异丙醇液体直至晶圆容纳室内每个晶圆片均完全浸入在异丙醇液体中时关闭第三入口，持续1-3min使异丙醇分子与晶圆片上的水分子完全相容后打开第三出口使异丙醇液体完全排出后关闭第三出口；

步骤S3、将热氮气供应器的输出端口与第一入口密封连接以通过第一入口向干燥腔室内部通入热氮气；

步骤S4、热氮气自第一入口沿经过晶圆片的至少三条气体流通路径流动至干燥腔室内远离第一入口的一侧；

所述晶圆干燥方法还包括在晶圆容纳室的底部设置一用于汇聚热氮气流至晶圆片底部的顶片模块并在洗涤槽之间开设有与晶圆容纳室内外侧相连通的排气缝，以及在第一入口处设置气体喷流模组以使热氮气具有提供足够的动能，所述顶片模块与晶圆片之间留有第一间隔，所述气体喷流模组包括若干可调节喷气流量的喷嘴，热氮气在气体喷流模组、晶圆容纳室和顶片模块之间形成循环气流场并经由排气缝以及晶圆容纳室和顶片模块之间的空隙排出晶圆容纳室。

2.根据权利要求1所述的一种图案化晶圆干燥方法，其特征在于，所述顶片模块上设置有若干与晶圆片相对应的聚流槽，所述聚流槽用于汇聚热氮气至晶圆片底部边缘处。

3.根据权利要求1所述的一种图案化晶圆干燥方法，其特征在于，所述气体喷流模组向干燥腔室内间歇性的喷射热氮气以使水分子和异丙醇分子产生间歇性震荡。

4.根据权利要求1所述的一种图案化晶圆干燥方法，其特征在于，所述内壁结构包括用于保温的夹层区，所述夹层区有且两个开口，包括设置于干燥腔室内远离第一入口一侧的第二入口和设置于干燥腔室内远离第二入口一侧的第二出口，所述第二出口和第一出口相连通。

5.根据权利要求4所述的一种图案化晶圆干燥方法，其特征在于：所述第二入口处设置有扰流挡板，且所述扰流挡板上开设有若干条形孔。

6.根据权利要求5所述的一种图案化晶圆干燥方法，其特征在于：所述至少三条气体流通路径包括由第一入口经晶圆片间隙至晶圆容纳室底部开口的第一路径、由第一入口经晶圆片洗涤槽至晶圆容纳室底部开口的第二路径、由第一入口经晶圆容纳室外侧壁至晶圆容纳室底部开口的第三路径、由第一入口经夹层区外侧壁至夹层区第二入口的第四路径。

7.根据权利要求1所述的一种图案化晶圆干燥方法，其特征在于：所述干燥腔室的底部设置为带有向下倾斜角度的坡形结构用以向晶圆片底部二次反射热氮气流。