[发明专利]惯性传感器、电子设备以及移动体

权利要求书

1.一种惯性传感器，其特征在于，具有：

基板；

第一惯性传感器元件，设置于所述基板，并用于检测第一方向；

第二惯性传感器元件，设置于所述基板，并用于检测与所述第一方向不同的第二方向；

盖，以覆盖所述第一惯性传感器元件和所述第二惯性传感器元件的方式与所述基板接合；

第一驱动信号端子，设置于所述盖的外侧，所述第一驱动信号端子是向所述第一惯性传感器元件施加的第一驱动信号用的端子；以及

第一检测信号端子，设置于所述盖的外侧，所述第一检测信号端子是所述第一惯性传感器元件输出的第一检测信号用的端子，

第二驱动信号端子，设置于所述盖的外侧，所述第二驱动信号端子是向所述第二惯性传感器元件施加的第二驱动信号用的端子；以及

第二检测信号端子，设置于所述盖的外侧，所述第二检测信号端子是所述第二惯性传感器元件输出的第二检测信号用的端子，

在俯视观察所述基板时，所述第一驱动信号端子与所述第一检测信号端子设置成之间隔着所述盖，

在俯视观察所述基板时，所述第二驱动信号端子与所述第二检测信号端子设置成之间隔着所述盖，

通过将所述第一惯性传感器元件和所述第二惯性传感器元件的所有驱动信号端子相对于所述盖配置在相同的第一侧，所述第二驱动信号端子相对于所述盖位于与所述第一驱动信号端子相同的一侧，通过将所述第一惯性传感器元件和所述第二惯性传感器元件的所有检测信号端子相对于所述盖配置在相同的第二侧，所述第二检测信号端子相对于所述盖位于与所述第一检测信号端子相同的一侧，所述第一侧与所述第二侧是所述盖的不同侧。

2.根据权利要求1所述的惯性传感器，其特征在于，

所述第一惯性传感器元件是检测角速度的陀螺仪传感器元件，并具有相对于所述基板进行振动的驱动可动体，

所述惯性传感器具有第一拾取信号端子，所述第一拾取信号端子设置于所述盖的外侧，所述第一拾取信号端子是所述第一惯性传感器元件输出的与所述驱动可动体的振动相应的拾取信号用的端子，所述第一拾取信号端子相对于所述盖位于与所述第一驱动信号端子相同的一侧。

3.根据权利要求1所述的惯性传感器，其特征在于，所述惯性传感器具有：

包括所述第一检测信号端子和第三检测信号端子的一对所述检测信号端子；

第一检测信号布线，将所述第一检测信号端子与所述第一惯性传感器元件电连接；以及

第二检测信号布线，将所述第三检测信号端子与所述第一惯性传感器元件电连接，

所述第一检测信号布线与所述第二检测信号布线为相同的长度。

4.根据权利要求1所述的惯性传感器，其特征在于，

所述第一驱动信号端子以及所述第一检测信号端子分别由设置于所述基板的金属膜构成。

5.根据权利要求1所述的惯性传感器，其特征在于，

所述第一驱动信号端子以及所述第一检测信号端子分别设置于载置台，所述载置台设置于所述基板，并由与所述第一惯性传感器元件相同的材料构成。

6.根据权利要求1所述的惯性传感器，其特征在于，

所述惯性传感器具有接合部件，所述接合部件设置于所述基板与所述盖之间并将所述基板与所述盖接合，

所述接合部件包含与所述第一驱动信号端子以及所述第一检测信号端子相同的材料。

7.根据权利要求1所述的惯性传感器，其特征在于，

所述惯性传感器具有多个检查用端子，所述多个检查用端子分别与所述第一驱动信号端子以及所述第一检测信号端子连接，并具有与所述第一驱动信号端子以及所述第一检测信号端子不同的俯视观察形状。

8.根据权利要求7所述的惯性传感器，其特征在于，

所述多个检查用端子的俯视观察形状为旋转对称。

9.一种电子设备，其特征在于，具有：

权利要求1至8中任一项所述的惯性传感器；以及

控制电路，基于从所述惯性传感器输出的检测信号进行控制。

10.一种移动体，其特征在于，具有：

权利要求1至8中任一项所述的惯性传感器；以及

控制装置，基于从所述惯性传感器输出的检测信号进行控制。