[发明专利]惯性传感器、电子设备以及移动体

说明书

本申请涉及惯性传感器、电子设备以及移动体。惯性传感器具有：基板；第一惯性传感器元件，设置于上述基板；盖，以覆盖上述第一惯性传感器元件的方式与上述基板接合；第一驱动信号端子，设置于上述盖的外侧，上述第一驱动信号端子是向上述第一惯性传感器元件施加的驱动信号用的端子；以及第一检测信号端子，设置于上述盖的外侧，上述第一检测信号端子是上述第一惯性传感器元件输出的检测信号用的端子，在俯视观察上述基板时，上述第一驱动信号端子与上述第一检测信号端子设置成之间隔着上述盖。

技术领域

本发明涉及惯性传感器、电子设备以及移动体。

背景技术

专利文献1记载的惯性传感器具有：基板；设置于基板并在Y轴方向上并排配置的三轴加速度传感器元件和三轴角速度传感器元件；以及覆盖三轴加速度传感器元件和三轴角速度传感器元件并与基板接合的盖。另外，三轴加速度传感器元件具有：对X轴方向的加速度进行检测的X轴加速度传感器元件；对Y轴方向的加速度进行检测的Y轴加速度传感器元件；以及对Z轴方向的加速度进行检测的Z轴加速度传感器元件，这三个传感器元件在X轴方向上并排配置。同样，三轴角速度传感器元件具有：对绕X轴的角速度进行检测的X轴角速度传感器元件；对绕Y轴的角速度进行检测的Y轴角速度传感器元件；以及对绕Z轴的角速度进行检测的Z轴角速度传感器元件，这三个传感器元件在X轴方向上并排配置。

专利文献1：日本专利特开2015-177153号公报

然而，在专利文献1的惯性传感器中，与X轴加速度传感器元件电连接的多个端子、与Y轴加速度传感器元件电连接的多个端子以及与Z轴加速度传感器元件电连接的多个端子分别相对于盖设置在相同一侧，在图示的结构中设置于Y轴方向负侧。另外，与X轴角速度传感器元件电连接的多个端子、与Y轴角速度传感器元件电连接的多个端子以及与Z轴角速度传感器元件电连接的多个端子分别相对于盖设置在相同一侧，在图示的结构中设置于Y轴方向正侧。

X轴加速度传感器元件中包括向X轴加速度传感器元件施加的驱动信号用的驱动信号端子和X轴加速度传感器元件输出的检测信号用的检测信号端子作为上述多个端子，若将这些端子相对于盖配置于相同一侧，则这些端子接近，恐怕驱动信号会作为噪声混入检测信号，使检测信号的S/N比降低。至于其它的Y轴加速度传感器元件、Z轴加速度传感器元件、X轴角速度传感器元件、Y轴角速度传感器元件以及Z轴角速度传感器元件也是同样。

特别是在检测电路的方式使用差动式的电荷放大器的情况下，若在检测信号端子的附近存在驱动信号用端子，则有时会对要检测的电荷带来负面影响。在用于惯性测量装置等的高精度的传感器中，因驱动信号导致的检测信号的S/N比降低成为较大的问题。由于这样，所以期望提高检测信号的可靠性。

发明内容

本实施方式中记载的惯性传感器其特征在于，具有：基板；第一惯性传感器元件，设置于所述基板；盖，以覆盖所述第一惯性传感器元件的方式与所述基板接合；第一驱动信号端子，设置于所述盖的外侧，所述第一驱动信号端子是向所述第一惯性传感器元件施加的驱动信号用的端子；以及第一检测信号端子，设置于所述盖的外侧，所述第一检测信号端子是所述第一惯性传感器元件输出的检测信号用的端子，在俯视观察所述基板时，所述第一驱动信号端子与所述第一检测信号端子设置成之间隔着所述盖。

本实施方式中记载的电子设备其特征在于，具有：上述惯性传感器；以及控制电路，基于从所述惯性传感器输出的检测信号进行控制。

本实施方式中记载的移动体其特征在于，具有：上述惯性传感器；以及控制装置，基于从所述惯性传感器输出的检测信号进行控制。

附图说明

图1是表示第一实施方式的惯性传感器的俯视图。

图2是图1中的A-A线剖视图。

图3是表示对X轴方向的加速度进行检测的传感器元件的一个例子的俯视图。

图4是表示对Y轴方向的加速度进行检测的传感器元件的一个例子的俯视图。